电池前电极的研究.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 2 (2014) 028801 高绒度掺硼氧化锌透明导电薄膜用作非晶硅太阳 电池前电极的研究 王利 张晓丹 杨旭 魏长春 张德坤 王广才 孙建 赵颖 (南开大学信息科学与技术学院光电子薄膜器件与技术研究所, 天津 300071) ( 2013 年8 月24 日收到; 2013 年10 月12 日收到修改稿) 将自行研制的具有优异陷光能力的掺硼氧化锌用作p-i-n 型非晶硅太阳电池的前电极, 并且将传统商业 用U 型掺氟二氧化锡作为对比电极. 相比表面较为平滑的掺氟二氧化锡, 掺硼氧化锌表面大类金字塔的绒面 结构会在本征层生长过程中触发阴影效应, 形成大量的高缺陷材料区和漏电沟道, 进而恶化电池的开路电压 和填充因子. 在不修饰掺硼氧化锌表面形貌的情况下, 通过调节非晶硅本征层的沉积温度来消弱高绒度表面 形貌引起的这种不利影响, 对应的电池开路电压和填充因子均出现提升. 在仅有铝背电极的情况下, 在本征 层厚度为200 nm 的情况下, 以掺硼氧化锌为前电极的非晶硅太阳电池转换效率达7.34% (开路电压为0.9 V, 填充因子为70.1%, 短路电流密度11.7 mA/cm ). 关键词: 氧化锌, 高缺陷材料区, 漏电沟道, 非晶硅顶电池 PACS: 88.40.H–, 73.40.–c, 73.61.Jc DOI: 10.7498/aps.63.028801 锌 (BZO) 因光透射率高、长波段陷光能力突出等 1 引 言 光学特性优势而渐受关注810 . BZO 表面具有 大类金字塔的绒面结构, 从光管理角度来看, 该绒 p-i-n 型硅基薄膜叠层太阳电池因高效率、低 面结构可以增长光子在太阳电池内的光程, 从而 成本、光致衰退小等特点而具有很大的产业化潜 激发出更多的光生载流子. 不过, 基于电流匹配和 力13 . 为进一步提升这种电池的光电转换效率, 稳定性的考虑, p-i-n 型叠层太阳电池顶电池的本 如何实现在太阳宽光谱范围内对光子的高效利用 征层厚度通常较薄1113 . 此时, BZO 大类金字 成为研究的热点45 . 其中前电极因处在光子路程 塔的绒面结构可能会导致电池电学特性的恶化. 因 的前端, 要求其在可见光、近红外光区域必须具有 此, 如何在较薄本征层厚度下获得输出特性优异的 高的光透射率, 同时需表现出优异的陷光能力6 . BZO 前电极顶电池 (通常为非晶硅太阳电池) 至关 现在广为采用的前电极主要是日本Asahi 公司生 重要. 产的U 型掺氟二氧化锡 (SnO : F, FTO) 透明导 本文通过分析 BZO 前电极非晶硅太阳电池 电薄膜. 尽管该透明导电薄膜的电学特性较好, 但 (记为BZO 电池) 在本征层厚度较薄时的输出特性, 在近红外波段陷光能力却较差, 大大限制了其在 揭示出高绒度衬底会极大影响后续沉积的硅薄膜 硅基叠层太阳电池中的应用7 . 近年来, 金属有 材料质量, 并通过调整本征层的沉积参数来消弱这 机化学气相沉积工艺 (MOCVD) 制备的掺硼氧化 种不利的影响. 国家重点基础研究发展计划(批准号: 2011CBA00706, 2011CBA00707)、国家自然科学基金