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低频机械谱术测量薄膜切变模量及微量油膜探测
第 39卷 第 11期 仓 扁 学 绞 V_01．39 No．11
2003年 11月 1228— 1232页 AC，IAI ME，IIALLURGICA SINICA Nov． 2003 PP．1228-1232
EVALUATIoN oF THE SHEAR M oDULUS oF THIN
FILM SAND DETECTIoN oF THIN—oIL FILM SBY Lo 乙
FREQUENCY MECHANICALSPECTRoSCoPY
． B．M agalas
AkademiaG6一rniczo-Hutnicza， 30--059Krak6w，Poland(magalas~agh．edu．p1)
FANGQianfenq
KeyLabor 。 o’f -aterialsPhysics，InstituteofSolidStatePhysics，TheChineseAcademyofSciences，Hefei230031
Correspondent：FANGQianfeng．professor,Tel：(0511)5591459lE-mail：qffang@issp．ac．cn
SupportedbyPolishStateCommitteeforScientificResearch (KBN)(No．11．11．110．499)． 一
swagenStiflung(No．I／7192)andNationalNaturalScienceFoundationofChina
(No．1oe74o86)
M anuscriptreceived2003--07-09
ABSTRA CT Thebasicconceptforthelow-frequencymechanicalspectrometeroperatingboth in
theresonantandsubresonantmodeisdescribed．Twomethodsofrstudyingthephysicalpropertiesof
thinfilmsonametallicsubstratearebrieflypresented．Thefirstmethodmakespossiblemeasurements
ofthesheramodulusandinternalrfictionofaTiN／Ti(C，N1multi-layerfilmdepositedonaMowire．
Thesecondmethodenablesdetectionofextremelyfinetracesofoilfilm presentonthesurfac eofsteel
sheets．Althoughthetwotechniquesdescribedinthispaperhaved rentapplications．theyraeboth
relatedtosur faceeffectswhichresultinlossofmechanicalenergy．
K EY W oRDS internalfriction，mechanical spectroscopy,shera modulus，thinfilm，oilfiml
低频机械谱术测量薄膜切变模量及微量油膜探测 木
L．B．Magalas
(AkademiaG6rniczo-Hutnicza，30-059Krak6w，Poland(magalas~agh．edu．p1)
方前锋
(中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室，合肥 230031)
摘 要 描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理．主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方
法：第一种方法，用于测量沉积在钼丝上的TiN／Ti(C，N)多层膜的切变模量和内耗；第二种方法，用于探测钢片表面微量油膜
的存在
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