激光聚焦式测头在纳米计量系统中的研究与应用.pdfVIP

中文摘要 纳米技术一直被众人认为是新世纪最重要的科学技术之一，而它将会引导一 场新的工业革命。作为一门新兴的交叉学科，它涉及机械、光学、电子、信息、 物理、化学、材料、制造、生物等多学科，所以它的发展也必定能促进这些学科 的发展。 纳米几何量计量技术不同于纳米技术，作为一种计量技术，它必须具有以下 几个特性：1) 量值溯源性; 2) 由计量系统构成的参考坐标系; 3)可复现的相对 于参考坐标系的计量和测量活动; 4) 通过探测系统将被测物与参考坐标系联系 起来。由上可见，激光聚焦式纳米计量系统的关键便是其探针系统与具有量值溯 源性的坐标定位系统。 本文主要工作就是围绕搭载了激光聚焦式测头的纳米测量机展开一系列的 测量与计量实验。通过对该系统在测量过程中出现的各种现象的研究，在测量对 象的选择、测量异常情况的规避以及测量误差的评定方法等方面对系统的测量性 能做了进一步的诠释。 首先针对激光聚焦式测头与纳米定位机的组成结构原理进行详细的分析，在 剖析纳米定位机的微动平台结构与电气单元系统控制处理数据原理的同时，通过 对测头四象限光电传感器聚焦信号发生器工作原理的分析以及其工作特性曲线 的详细解析，得出激光聚焦式测头与纳米定位机配合组成的纳米测量机的