电子科大薄膜物理(赵晓辉)绪论技术总结.pptVIP

物理气相沉积技术(PVD)是利用热蒸发、离子溅射或辉光放电等物理过程，在基体表面沉积所需薄膜的技术 化学气相沉积技术(CVD)是利用化学反应，将气相中的物质转移到基体表面形成所需薄膜的技术 物理与化学相结合，以技术方法区分。氧化物、氮化物的制备。 Evaporation e-beam evaporation system Sputtering Pulsed Laser Deposition 薄膜的应用 电学——超导、导电、半导体、电阻、绝缘、电介质 功能薄膜 光学——增透、反射、减反、光存储、红外 磁学——磁记录和磁头薄膜 热学——导热、隔热、耐热 声学——声表面波滤波器，如ZnO、Ta 机械——硬质、润滑、耐蚀、应变 化学、 生物 薄膜的分类 传感器：压力，温度，湿度，加速度，气体 光电子器件：薄膜电致发光器件，代替CRT作显示器 信息及计算机：磁性薄膜，光盘，磁光盘 光学：反射膜，增透膜 机械工业：耐磨涂层，硬质镀层，固体润滑膜，耐腐蚀装饰、包装，镀金，锡箔纸，塑料薄膜上镀铝 太阳能电池，超导薄膜，铁电薄膜，金刚石薄膜… 集成电路： P-N结、绝缘层、导线，并由此构成二极管、三极管、电阻、电容等电子元件 是薄膜技术的最主要推动力 莫尔定律：每1.5年，更新1代：线宽缩小为上一代的0.7倍 薄膜传感器的制作 磁性薄膜 Coil for writing 巨磁阻磁头的薄膜断面 Top magnetic layer ~ 100 ? Carbon overcoat ~ 70 ? Lubricant ~ 20 ? Spacer layer ~ 0 - 20 ? Substrate Seed layer ~ 100 ? Under layer ~ 100 ? Bottom magnetic layer ~ 100 ? Intermediate layer ~ 50 ? 晶体太阳能电池 YBCO/CeO2/YSZ/CeO2/Ni YBCO超导样品 YBCO 薄膜形貌 作业 什么是薄膜？ 薄膜制备方法分类。 薄膜应用领域举例。 薄膜物理与技术 赵晓辉 课程介绍 赵晓辉 办公室：微固楼 335 电 话 Email：xhzhao@uestc.edu.cn 课程介绍 上课时间： 周二 3、4节 周四 1、2节 总共32学时 实验课1次 上课地点： 二教 108 课程介绍 课程任务： 掌握固体薄膜的主要制备技术及相关知识，为从事固体电子薄膜的研究、设计和制备打下基础。 教材及参考书 《薄膜材料制备原理、技术及应用》 唐伟忠， 冶金工业出版社，2003 《薄膜物理与技术》  杨邦朝， 电子科大出版社，1994 《薄膜科学与技术手册》 田民波，机工版，1991 《Material Science of Thin Films－Deposition Structure》 M. Ohring，世图影印版，2006 《电子薄膜材料》 曲喜新，科学出版社，1996 主要内容 第一章 真空技术基础 第二章 物理气相沉积－－蒸发 第三章 物理气相沉积－－溅射 第四章 化学气相沉积 第五章 化学溶液沉积 第六章 薄膜生长过程和结构 第七章 薄膜材料的表征方法 课件 课件是提纲 课本是主要内容 讲述是重点 U盘拷贝 考试 考试形式：闭卷 考试内容：所有讲述内容 成绩构成： 平时成绩：30%（作业，出勤，实验报告） 考试成绩：70% 什么是薄膜？ 定义1（狭义）： 由单个的原子、离子、原子团无规则地入射到基板表面，经表面附着、迁徙、凝结、成核、核生长等过程而形成的一薄层固态物质。 Vacuum Substrate surface Atom Thin Film ? 一、薄膜的定义 定义1的特点： 强调了薄膜生长的机理与过程 仅仅适用于气相生长方法，而不适用于液相法 也不能描述扩散、注入方法 强调了薄膜的生长必须依附基板 上平面：空气 固体膜、液体膜 下平面：固体表面、液体表面、空气 夹在两个平行平面间的薄层。 定义2（广义）： 缺点：不能区分薄膜、厚膜、涂层、金属箔、层等概念。 thick film coating foil layer ? 定义3： 采用特定的制备