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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 C %$$C C ， ， ， +@ 3 J@ 3C MN5O %$$C （ ） #$$$*(%’$6%$$C6 $C 6%’’%*$ ;)2; KFL,I); ,IJI); !%$$C )P-5 3 KPQR 3 ,@E 3 !# 法提取$%! 隐埋沟道’$()* 沟道载流子浓度! ! 郜锦侠 张义门 汤晓燕 张玉明 （宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安电子科技大学微电子学院，西安 #$$#） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）