大功率半导体激光列阵单光纤耦合技术.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２８ １０ 犞狅犾．２８ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００７ １０ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００７ 大功率半导体激光列阵单光纤耦合技术 ，，， ，， ，， ，， ，， １２３ ３ １２３ １２３ １２３ １２３ 牛 岗 樊仲维 王培峰 崔建丰 石朝辉 张 晶 　 　 　 　 　 　 　 （ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 ） １ １３００３３ 　 （ 中国科学院研究生院，北京 ） ２ １０００３９ 　 （ 北京国科世纪激光技术有限公司，北京 ） ３ １０００８５ 　 摘要：利用阶梯反射镜整形技术和偏振合束及波长合束技术成功将两只波长为 ８０８狀犿和两只波长为 ９８０狀犿的 ４０犠 大功率半导体激光器光束进行混合，最后得到输出功率为９５８犠、耦合效率为６０％的双波长大功率半导体激 光列阵单光纤耦合模块，光纤芯径为４００犿，数值孔径为０２２． μ 关键词：激光技术；大功率半导体激光列阵；阶梯反射镜；偏振合束；波长合束；耦合效率 ： 犈犈犃犆犆 ４３２０犑 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖２４８４ 犃 ０２５３４１７７２００７１０１６０７０４ 　　　 　　　 １ 引言 ２ 阶梯反射镜整形 　 　 随着大功率半导体激光器应用的发展，大功率 对于大功率半导体激光器列阵，其光束特性通 半导体激光列阵（ ）光纤耦合技术也在不断完 常使用光参数积（ ， ） 犔犇犃 犫犲犪犿 犪狉犪犿犲狋犲狉 狉狅犱狌犮狋狊犅犘犘 狆 狆 善和发展 大功率半导体激光器由于其