电子探针分析原理.pptVIP

第四节 样 品 制 备 样品制备步骤 （1）将所需研究的样品切割，磨制成光片或光薄片，如果是薄片，上面不可有盖玻璃，所有粘合剂不能用加拿大树胶，只能用环氧树脂或502胶； （2）在光学显微镜下仔细寻找所要观察的区域，用墨水笔圈出，并画出各物相的关系； （3）将样品涂上一层碳膜。 （4）用于形态分析的碳末样品的特殊制样方法：在玻璃载玻片上用双面胶带粘上粘土或其它粉末，压紧，然后喷碳或喷金。 第五节 电子探针定性分析 定性分析是指确定未知样品所含有的在检测极限范围内的所有元素。 电子探针定性分析包括①波长色散X射线光谱法(wavelength-dispersive X-ray spectrometry,WDS)，②能量色散X射线光谱法(energy-dispersive X-ray spectrometry,EDS)。EDS的检测极限为0.1wt%±，WDS的检测极限大部分为100ppm，极理想情况下可达10ppm。 一、能谱定性分析 根据探测器（正比计数管、闪烁计数管）输出脉冲幅度与入射X射线在检测器中损耗能量之间的已知关系来确定X射线能量。 分析原理：（1）样品中同一元素的同一线系特征X射线的能量值是一定的，不同元素的特征X射线的能量值各不相同。（2）利用能谱仪接收和记录样品中特征X射线全谱，并展示在屏幕上。（3）然后移动光标，确定各谱峰的能量值，通过查表和释谱，可测定出样品组成。 能谱分析的能量值范围为0.1keV——电子束能量值（20KeV）。 能谱分析过程中必须注意的事项 （1）仅仅是具有特征性的峰才可以用来鉴别元素； （2）要经常校正EDS谱仪； （3）用来鉴定4Be~92U的X射线能量值范围为0.1~14KeV，但对重元素，电子束的能量最好在20~30KeV。 （4）在进行EDS定性分析时，要养成“查书”的习惯。当一个元素鉴定出来以后，应该将可能线系的X射线峰都标定出来，特别是对于那些强度相对弱的峰，以防有其它微量元素的存在； （5）要避免其它元素的干扰，特别是过渡金属之间的干扰尤为明显，要倍加注意。 能谱分析中常见元素的干扰源 重元素玻璃EDS谱线图 二、波谱定性分析 基本原理：在电子束的轰击下，样品产生组成元素的特征X射线，然后由谱仪的分光晶体分光，计数管接收并转换成脉冲信号，最后由计数器显示，或由记录仪记录下试样组成元素的特征X射线全谱。 在波谱分析中，通常采样L值，而不是λ值。L值为：从X射线源到分光晶体之间的距离，它代表检测波谱仪位置的波长。 式中，R为谱仪的罗兰园半径(mm)，如:JEOL 2R＝140mm，Cameca 2R＝166mm，Shimadzu 2R＝102mm。2d为分光晶体的面网间距， λ为特征X射线峰的波长，n为X射线反射级数。 与EDS相比，WDS具有一下优点： ①WDS具有高的分辨率； ②高的峰/背比使WDS的检测限大大优于EDS(WDS 100ppm±，EDS 1000ppm ±)； ③WDS能够分析Z≥4的元素，虽然新型的EDS也能分析Z＝4的元素，但检测限要大大降低。 但WDS也有其缺点： ①用时多，速度慢； ②WDS需用较大的电流。 第六节 电子探针定量分析 一、电子特征元素定量分析的基本原理 二、定量分析数据的预处理 三、ZAF修正 四、定量分析的技术问题 五、工作条件的选择 六、X射线分析中的精度和灵敏度 七、标样选用 一、电子特征元素定量分析的基本原理 在一定的电子探针分析测量条件下，样品组成元素的相对百分含量与某元素产生的特征X射线的强度成正比，二者关系可用下式表示： 式中，Ci和C(i)分别为样品和标样中i元素的浓度，Ii和I(i)分别为样品和标样中i元素的X射线强度。 二、定量分析数据的预处理 （一）背景修正 实验测得的特征X射线强度必须扣除连续X射线所造成的背景强度，即进行背景修正。 测定背景值的方法有如下几种： (1)如果背景强度是X射线波长的线性函数，则在谱峰两侧偏离主峰中心0.1的位置上分别测背景值[Bg(-),Bg(+)]，其平均值(Bg)即为谱峰中心的背景。 (2)如果背景强度与波长不呈线性关系，通常在离谱峰两侧0.1的位置各取两个以上点的背景值，然后绘出背景轨迹，直接读取峰位处的背景强度Bg作为背景值。 （二）死时间(dead time)修正 死时间是指在一个脉冲到达计数器后，有一段时间间隔。在此间隔内，计数系统不再接收记录，直到新的脉冲到来。 由于死时间的存在，使一部分X射线脉冲漏记，造成计数损失，而且计数率越高，死时间造成的计数损失的相对比例也越高。因此要对X射线强度进行死时间修正。 式中，n’为实测计数率，n为经死时间修正的计数率， τ为死时间。 三、ZAF较正 试样在经过背景修正和死时间修正后，可作为一级近似将X射线强度比当作