矽基板线锯加工之钻石线分析研究.PDF

2011 精密機械與製造科技研討會論文集－PMMT 2011 2011 Conference on Precision Machinery and Manufacturing Technology －PMMT 2011 矽基板線鋸加工之鑽石線分析研究 1 1 1 2 2 2 陳炤彰 、黃堯弘 、鄭守智 、徐文慶 、何思樺 、鄭世隆 1 2 國立台灣科技大學機械工程系、 中美矽晶製品股份有限公司創新科技研發中心 摘要 矽基板為廣泛之使用在半導體業和太陽能產業 之應用上，而於矽基板之製造過程中，複線式線鋸切 割 (Multi-wire sawing)為一重要之製程，因切割品質之 好壞會影響後續太陽能電池(Solar cells) 生產之品 質，於現今之切割方式中，主要可分為兩種，游離磨 料(Free Abrasive)和固定磨料(Fixed Abrasive) ，現於此 兩者製程中都為一不可或缺之耗材，故研究主要以為 圖 1 2005~2012 太陽能之產能預測[1] 探討單晶矽基板線鋸加工所使用之鑽石線和鋼琴線 做一分析研究，主要為針對線鋸加工中之鑽石線和鋼 琴線進行拉伸實驗，並針對拉伸實驗後之降伏應力 (Yield Stress)和破斷應力 (Fracture stress) ，來分析切割 前後鑽石線和鋼琴線之拉伸情形，以分析在切割前後 之鑽石線和鋼琴線之拉伸強度之變化，及拉伸過後之 線材之破壞情形． 關鍵字 : 複線式線鋸加工 、鑽石線 、降伏應力 、破 斷應力、矽基板加工 圖 2矽基板製作流程 [1] 2. 複線式線鋸切割加工(Multi-wire Sawing) 1. 前言 近年來，隨著石油短缺及價格飛漲，以及二氧 矽基板之切割製程中 ，於早期之內圓鋸鋸切法 化碳濃度逐 年增加，造成許多環保意識和綠色能源抬 (Inner Diammeter Saw) ，如圖3所示，但此方法因矽 頭，其中太陽能電池 (Solar Cell)為綠色能源裡十分具 晶錠尺寸逐漸增大 ，導致無法大量生產，故之後被複 有前景之產業，因太陽能電池之發電來源為太陽光， 線式線鋸切割(Multi-Wire Sawing)逐漸取代[3] ，如圖 在發電之過程中並不產生汙染，且安裝較其他綠色能 源容易，故發展前景較好． 4所示，複線式線鋸切割為將矽晶錠往佈滿線網之導 太陽能電池在市佔率上，仍以矽基板太陽能電 輪上進給，利用導輪帶動線網切割矽晶錠， 擁有其產 池為主[1] ，如圖1所示，就矽基板太陽能電池而言， 能大 、切損小等優點，就切割模式而言，主要可分為 主要可分為單晶矽(mono-crystalline silicon)太陽能電 游離磨料(Free Abrasive)和固定磨料 (Fixed Abrasive) 池和多晶矽 (poly-crystalline silicon) 太陽能電池兩 類 ，而兩者矽基板之製造流程都為經長晶(Crystal 兩種，如圖5所示，其游離磨料主要是由一般的鋼琴 grown)後，經過去頭尾 (Cropping) 、開方(Squaring)/ 線帶動漿料切割矽晶錠，其中漿料的主要成分為聚乙 切塊(Bricking) 、外圓研磨(Grinding) 、切片(Slicing) 烯乙二醇(Polyethylene Glycol,PEG)和碳化矽 (SiC)磨