等离子体技术在碳氮膜制备中的应用.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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等离子体技术在碳氮膜制备中的应用

, 真空 =D;? 年月 ; ,; ?IU 等离子体技术在碳氮膜制备中的应用李建刘艳红俞世吉马腾才 , , , 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室辽宁大连 ’ , *#/+ 摘要是等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质含有的碳氮膜具有优 !% $ / , % $ / 012 13456 012 异的电学光学和机械特性在很多领域有应用前景人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备本文将对等 7 , - - 离子体技术在碳氮膜制备中的应用进行综述并在成膜速率成膜质量等方面对以往工作成果进行论述最 , 7 , 8 后将讨论沉积过程中几个参量对碳氮膜沉积速率膜结构等的影响 7 - 关键词碳氮膜等离子体薄膜 ! 8 8 : 9;= 中图分类号! .$(8 /$ 文献标识码! 文章编号!##%#$’##/+#%###C%#* ? @A B DEEFGHIJGKLMKNEFIMOIJPHQLKFKRSJKTPEKMGJGKLKNHIUVKLLGJUGTPNGFOM , % , % , % WXYZ[6 WX\ ][6436^ ]\ _4Z‘Z aB @56^b[Z ’ , , cdedfgfhiejkledklhkmnedflokepnkqomoredoksthupfrdlks vksesqiewfltfexw , *#/, + yepoeszso{flwodhkm|fr}skpk~h yepoes !}ose ! , , , % DVMJUIHJ $ / [#$5%Zb5%453$5Zb[’’()(134565[’ Z[*[5$Z[’4[*[(4[+54Z^45$4[$%654[6%Z[*36% @45 012 % $ / , b[$)366Z$Z%5-Z’*b36[Z6Z6^012 4[+5.#5$Z3$5’5