自动光学检查系统 - 日本网屏.PDFVIP

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2017-06-24 发布于天津
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自动光学检查系统 - 日本网屏.PDF

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自动光学检查系统 - 日本网屏

规格(PI-9200系列/ PI-9700) 光源红色LED 可承载面板尺寸最大检查面积最大检查面积（系统运行时验证）系统尺寸主部件：1,180 x 1,975 x 1,269 mm 自动光学检查系统 (W x D x H) 鼓风机组：498 x 800 x 680 mm 重量主部件：950 kg 鼓风机组：96 kg 规格 (PI-9400) 规格 (MI-9700) 光源红色LED 光源红色LED 可承载面板尺寸玻璃枱面：715 (X) x 790 (Y) mm 可承载面板尺寸玻璃掩膜治具单元：610 (X) x 770 (Y) mm 最大检查面积玻璃枱面：660 (X) x 720 (Y) mm 最大检查面积最大检查面积玻璃掩膜治具单元：540 (X) x 710 (Y) mm （系统运行时验证）系统尺寸主部件：1,160 x 2,050 x 1,260 mm 系统尺寸主部件：1,160 x 2,072 x 1,445 mm (W x D x H) 真空泵单元（选项）：222 x 800 x 410 mm (W x D x H) 真空泵单元（选项）：222 x 800 x 410 mm 主部件：880 kg 重量真空泵单元（选项）：7 kg 主部件：950 kg 重量真空泵单元（选项）：7 kg 规格 (VT-2000系列/VT-1850) 照明系统环形白光LED 照明灯组, 投射白光LED 照明灯组, 同轴式白光LED 照明灯组 *1, 透射照明灯组 *2 显示角度最大检查面积最大厚度系统尺寸 (W x