13电子光学基础汇编.ppt

?rA＝?fAα （7－10） 式中 ?fA为电磁透镜出现椭圆度时造成的焦距差。 电磁透镜在制造过程中已存在固有的像散，可以用消像散器校正。 图7－5 像散 (三)色差 色差是由于入射电子波长(或能量)的非单一性所造成的。见图8—6。 若入射电子能量出现一定的差别，能量 大的电子在距透镜光心比较远的地点聚 焦，而能量较低的电子在距光心软近的地点聚焦，由此造成了一个焦距差。 图8—6 色差 使像平面在长焦点和短焦点之间移动时．也可得到一个最小的散焦斑，其半径为Rc 。 把Rc除以透镜的放大倍数M，即可把散焦斑的半径折算到物点P的位置上去，这个半径大小等于?rc ． ?rc＝Rc/M (7—11) 二、分辨本领 电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。 (一)衍射效应对分辨本领的影响 由衍射效应所限定的分辨本领在理论上可由Rayleigh公式计算，即 (7－12) 式中 ?r0——成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离，用它来表示分辨本领的大小， ?r0越小，透镜的分辨本领越高； λ——波长； N——介质的相对折射系数； α——透镜的孔径半角。 ?r0的物理含义 物体上的物点通过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即所谓Airy斑（