钻孔孔偏异常分析.pptVIP

鑽孔偏破異常分析 For drilling 2003.3.18 1.鑽孔異常現象 非個別孔偏孔破 (我們分析對象) 套不上pin 孔塞 未鑽透 漏鑽 2.孔偏責任者 微影 壓合 鑽孔 現場作業人員 補償值 設計 3.層間對準說明 微影:依鑽孔的內層對位孔製作內層線路,靶標,同心圓 壓合:依鑽孔的卯合孔組合釘卯,壓合後鑽靶孔 微影:依靶孔對位製作Mask 鑽孔:依靶孔計算補償值,套pin上板鑽孔 4.層間對準流程 微影 Laser 微影 壓合 鑽孔 電鍍 微影 5.微影影響孔偏 曝光偏 同心圓偏 鑽孔同方向偏 照X-Ray發現同張基板上下層同心圓偏 6.壓合影響孔偏 組合偏 同心圓偏 鑽孔無規律偏 照X-Ray發現不是同張基板的層同心圓偏 靶孔偏或橢圓 在壞靶處孔偏嚴重 照X-Ray看靶孔 7.鑽孔 補償值不適合 孔偏方向內縮或外張 用X-Ray照全板面判定 作業過程中移動板子 無規律孔偏 用板子對Mylar 內鑽重壓pin 無規律孔偏 看pin孔是否橢圓並