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JEM2100F机台简易操作步骤
JEOL 2100F 簡易操作步驟
儀器及真空狀態之準備動作
1.確認冰水機溫度18℃+-0.5℃，室內溫度20℃+-0.5℃。
2. 記錄GUN SIP Vacuum(60L) 6E-7(Pa) ，GUN SIP Vacuum(20L) 4E-7(Pa)，Column SIP
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VACUUM 4 X 10 若有異常，請通知管理者及填寫記錄。
3.確定 SF 氣壓 0.3 MPa(Column之左後方)。 6
4. 將ACD Heat 之LN2加滿。其間若發現ACD Heat外圍凝水，則需補充之。
5. 將CCD control 的Cooling切到on。
6. 升電壓：按Dialogue開啟High Voltage Control，按Normal/Stand By之Normal，儀
器會自動於二十分鐘後將電壓升至200 KV (Stand by mode 設定在160KV)。
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7. Loading Holder的步驟
a.待 Ready 燈亮，放入 Column。(Holder 放入 Column 時需隨時注意 ColumnVacumn 變
化。
8. BEAM ON (按左panel 中之(BEAM)) ，此時可檢查 Monitor下之Valve Sys的V1及V2
是否開啟。
10. 調整OBJ-FOCUS鈕，將小液晶螢幕上之OL(objective lens voltage)值調至OL=3.66V，
確認DV=0。
註：STD FOCUS( R1 )使DV=0。
11.在Controller for JEM-2100F/UHR下將滑鼠移至坐標處點右鍵，即可設定所使用之樣品
座，而後點選APPLY。
12. 找到位置，記錄樣品坐標，調Z-high， Focus(R1)。
Aligment: 以試片中的破洞作校正。
1. 在40KX以上時，Beam縮小，移至中心。調整CL-Aperture之X,Y軸，使電子束於縮放時均
能同心圓放大。
註:旋轉BRIGHTNESS(L1)將電子束放大縮小，右手調整CL-Aperture之X,Y軸。
註：Underfocus及Overfocus均能使同心圓放大縮小，但是以Overfocus為基準。
2.Gun Def -Aligment：倍率200KX。
2.1 在Maintenance-Alignment 選取DEF Selector-Gun，轉動BRIGHTNESS鈕將電子束縮小
之後，將Spot size 調至1，以Shift X,Y將電子束移至螢幕正中心。
2.2 在Maintenance-Alignment 選取DEF Select-CLA (condenser lens aperture)，將Spot
size 調至5，以Shift X,Y將電子束移至螢幕正中心。
2.3 .重複步驟2.1及步驟2.2，直到電子束亮點不動在正中心為止。Spot Size選在1。
3.倍率200K時，Maintenance-Alignment，並同時選取Wobbler-Anode及DEF Select-Gun，調
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