图案化定向碳纳米管阵列的场发射性能研究-电子器件.PDF

第36卷 第5期 电 子 器 件 Vol.36摇 No.5 2013年10 月 ChineseJournal of Electron Devices Oct.2013 Investigation of FieldEmissionProperties of Patterned CarbonNanotubesArray* 1* 1,2 1 1 1 LI Chi ,DINGShuyi ,LEI Wei ,ZHANGXiaobing ,WANGBaoping (1.School of Electronic Science and Engineering,Southeast University;JiangsuInformation Display Engineering Research Center,Nanjing 210096,China; 2.School of Information Engineering,Taizhou College of Nanjing Normal University,TaizhouJiangsu225300,China) Abstract:Field emission properties of carbon nanotube array were affected by its geometry,such as driving field, emission current,so carbon nanotubes array with three different patterns were designed and fabricated using thermal chemical vapor deposition(TCVD).We have compared thefield emission performance of these three kinds of carbon nanotubes array structure,and found that the carbon nanotubes array with regular hexagon honeycomb structure has the strongest edge effect,minimum screen effect and largest emission current under the same electricfield. Key words:screening effect,aligned carbon nanotubes array,field emission EEACC:2320摇 摇 摇 摇 doi:10.3969/j.issn.1005-9490.2013.05.001 图案化定向碳纳米管阵列的场发射性能研究* 1* 1,2 1 1 1 李摇 驰 ,丁沭沂 ,雷摇 威 ,张晓兵 ,王保平 (1.东南大学电子科学与工程学院,江苏省信息显示工程技术研究中心,南京210096; 2.南师大泰州学院信息工程学院,江苏 泰州225300) 摘摇 要:考虑到碳纳米管的几何形貌会在一定程度上影响其场发射性能,如驱动电场,发射电流强度等,因此设计了3种不 同的几何图案,并采用热气相化学沉积(TCVD)法制备出了相应几何结构的定向碳纳米管阵列;通过模拟计算和场发射测试 实验,我们对以上3种结构的场发射性能进行比较,发现具有规则六边形蜂窝形状的碳纳米管阵列具有最强的边缘效应,最小 的屏蔽效应,以及相同电场下最大的发射电流。 关键词:屏蔽效应;定向碳纳米管阵列;场发射;催化剂图案 中图分类号:O462.4摇 摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 摇 文章编号:1005-9490(2013)05-0585-04 摇 摇 自从范守善老师在《Science》杂志上发表了关 米管阵列的场发射主要集中在边缘,如果碳纳米管