2015年终汇报.ppt

项目背景： 类金刚石（DLC）膜含 有一定数量的SP3键,使其具有一系列接近于金刚石的优异性能,如很高的硬度和很小的摩擦系数、良好的化学稳定性和抗腐蚀能力、较高的电阻率、电绝缘强度及优异的红外和微波频段的透过性和高的光学折射率加之薄膜的沉积温度较低,因而在很多领域都得到应用。而且其具有良好的生物相容性，是理想的生物涂层材料，近十余年来在生物医学领域的临床研究也获得了重大进展。 利用射频磁控溅射法制备类金刚石（DLC）膜，具有沉积温度低，沉积速率 高，沉积薄膜光滑，致密，均匀结合力好等优点，是实验和生产中应用最多 的方法之一。因此本实验中选择射频磁控溅射法在NiTi形状记忆合金制备类金刚石 膜。 在近十几年里，NiTi合金因其具有形状记忆效应，超弹性，生物相容性和耐蚀 性等独特的性能十七在正畸临床领域得到了蓬勃发展。NiTi正畸弓丝形变后产生柔 和持久的矫治力有利于牙周组织的改建。但其仍有不足之处，那就是因为合金中存 在Ni,而无论Ni还是Ni盐都有致癌作用，虽然NiTi合金有很好的钝化耐蚀性，但是长 期植入时仍要考虑Ni的溶出。因此采用表面处理技术，减少Ni在人体体内环境下的 溶出，将成为以后发展的一个重要方向。 项目进展： 为了在NiTi形状记忆合金上制备优良的类金刚石（DLC）膜，可以先在单面抛光的 硅片上验证本组实验的最佳工艺参数，实验结果如下： 本组实验的工作条件为射频功率150w,偏 压-100v,温度50℃，变换工作气压求得工 作气压组的最佳工艺参数。由Raman谱图 和其Id/Ig比可以看到在1.0Pa时其Id/Ig比 值最小，且此时的G峰位置也为最小，大 多数学者认为此时的DLC薄膜中含有更多 的SP3 键，其性质越接近与金刚石，拥 有更好的性能。 Raman图谱： Id/Ig比： G峰位置： Id/Ig比： G峰位置： 本组实验的工作条件为射频功率150w,偏压-100v,工作气压1.0Pa， 变换工作温度求得温度压组的最 佳工艺参数。由其Id/Ig比值及G峰 位置可知其室温条件为最佳工艺 参数。 二：温度组： 本组实验的工作条件为射频功率150w,温度50℃,工作气压1.0Pa， 变换偏压值求得偏压组的最佳工 艺参数。由其Id/Ig比值及G峰位 置可知-100v为最佳工艺参 数。 三：偏压组： 四：功率组： 本组实验的工作条件为温度50℃,工作气压1.0Pa，偏压-100v,变换射频 功率求得功率组的最佳工艺参数。由 其Id/Ig比值及G峰位置可知120w为最佳工艺参数。因此本组实验室温最佳 工艺参数为射频功率120w,工作气压 1.0Pa，偏压-100v,温度为室温条件。 以最佳工艺参数在单面抛光的硅片上制备样品的SEM图像： 以最佳工艺参数在NiTi形状记忆合金上制备DLC薄膜的SEM图像： 意义： 以前，医学装置是根据其材料和体积特性来选择的，现在人们认识到装置的表面 性能在生物医学应用中占主导地位，众多表面处理技术中，类金刚石膜具有广泛的应 用。目前，生物医学应用的常见金属是NiTi形状记忆合金，316不锈钢，钴铬合金，氧 化钛，氮化钛等。这些金属在长期的持续使用中，会出现磨损和腐蚀，析出金属离子 并出现细胞毒性。类金刚石膜显著降低摩擦力，可抑制和阻止细菌在其表面的增值和扩 散，并具有耐腐蚀等物理化学特性。 本实验在NiTi形状记忆合金上制备类金刚石膜，明显提高了镍钛合金的抗腐蚀性能 ，使其表面更加光滑，有利于发挥其柔和而持久的轻力作用，为类金刚石膜表面改性技 术在口腔正畸领域应用进行了有益的实践，同时也开拓了生物医学用金属在人工关节， 心脏瓣膜，高频手术刀等医学器件的应用。