奈米材料的显微结构分析技术简介：扫描式电子显微镜-kuasedutw.PDF

奈米材料的顯微結構分析技術 簡介 ：掃描式電子顯微鏡 國立高雄應用科技大學 化學工程與材料工程系 陳弘穎 (tel) 07-3814526 分機 5130 (e-mail) hychen@cc.kuas.edu.tw 1 演講大綱 何謂顯微結構 (microstructure) 為何顯微結構重要 如何觀察顯微結構 為何要使用電子顯微鏡 (electron microscopy) 如何製作試片 觀察實例 2 參考文獻 Scanning Electron Microscopy: J. Goldstein et al., “Scanning Electron Microscopy and X- Ray Microanalysis,”Springer, 3rd edition, 2003. Transmission Electron Microscopy: D. B. Williams C. B. Carter, “Transmission Electron Microscopy,”Plenum, 1996. 國立中興大學貴重儀器中心 ,場發射掃描式電 子顯微鏡(FE-SEM)使用者研討會 , 2005年 3 何謂奈米 大 100 nm 奈 米 1 nm 小 4 何謂顯微結構 (microstructure) 結構 ：材料內部成分的排列組合 巨觀 (macroscopic) ：用肉眼直接觀察 。 微觀 (microscopic) ：需輔以工具觀察。 工具 ：放大鏡、光學顯微鏡、電子顯微鏡 .. 5 巨觀與微觀結構 6 為何顯微結構重要 多晶：高孔隙率 Al O 單晶 多晶：低孔隙率 2 3 7 光學顯微鏡 燈源 透鏡組 照相系統