微纳米加工技术及其应用综述!.PDF

微纳米加工技术专题 微纳米加工技术及其应用综述! 崔- 铮. （英国卢瑟福国家实验室微结构中心） 摘- 要- - 材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征，纳米技术已经成为当前科学研究与工 业开发的热门领域之一 微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是先进的 微纳米加工技术 文章对微纳米加工技术做了一个综合的介绍，简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区 别 在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则，并对当前微纳米加工技术面临的挑战和 今后发展的趋势作了预测 关键词- - 微纳米技术，微纳米加工，微系统技术，微小型化 !#$%# ’( )%*$’+ ,-,’(-.$%*-/%’, /#*0,’1’2%#3 -,4 -551%*-/%’,3 /01 2!3,4. （!#$%’ () *++ ,%#(- ./0(/#(1 ，2%-#/, 345(6#5#% 7/54,4#18 2$4,#(- ，94)5(# ，:;(- :; 55 6 = ，? ） 6.3/$-*/7 7 1 !*7 833, 93:3*(3; !* *39)*(7 *,; 79’+’937 =, !3 )+9= *,; ,*,=339 7+*(3 ;3=,79*3 *, +!*9*+39)7)+7 ;)??393, ?9= !3)9 *+9= ;)3,7)=,7 @*,=3+!,=(=4 !*7 83+=3 * != =#)+ ), +’993, 9373*9+! *,; ),;’79)*( *##()+*)=,7 A),)*’9)7*)=, 93()37 =, ?’,+)=,*( 79’+’937 *,; ;3:)+37 =? )+9= *,; ,*,=339 ;)3,7)=,7 B, =:39:)3% )7 #9373,3; =? )+9=C ,*,=?*89)+*)=, 3+!,=(=4)37 %!)+! *93 !3 8*7)7 ?=9 !3 93*()7*)=, =? )+9= *,; ,*,=7+*(3 79’+’937 B 89)3? ;37+9)#)=, =? !3 ;)??393,+3 83%33, 7’+! ?*89)+*)=, *,; +=,:3,)=,*( *+!),),4 )7 4):3, ，*,; * ?3% #9),+)#(37 =, !=% = +!==73 *, *##9=#9)*3 )+9=C ,*,=?*89)+*D )=, 3+!,=(=4 ?=9 * 7#3+)?)+ *##()+*)=, *93 7’44373; /’993, +!*((3,437 *93 #9373,3; ，=43!39 %)! * #93D ;)+)=, =? ?’’93 ;3:3(=#3,7 8#9’$437 7 )+9=C ,*,=3+!,=(=4 ，)+9=C ,*,=?*89)+*)=, ，)+9=773 3+!,=(=4 ，),)*’9)7*)=, 开发出直径只有5 的微马达，指甲大小的微摄像 5- 引言 头，豌豆大小的气相色谱分析装置，芯片上的光学平 当5MNH 年5E 月美国贝尔实验室的科学家发明 台和化学分析实验室等 如果说集成电路芯片提供了 了世界上第一只晶体管，他们不会想到F6 多年后的 一个系统的思考与决策的大脑，微系统技术则以各种 今天，这场由晶体管引发的微电子技术革命已经深刻 微传感器与微执行器提供了系统的感官、手与脚 系 地影响了现代社会的面貌 由半导体微电子技术以及 统微型化成为今后现代工业发展的必然趋势