微结构表面形貌的测量-光学精密工程.PDF

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2017-06-25 发布于天津
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微结构表面形貌的测量-光学精密工程

7 3 Vo l. 7 , N o. 3 1999 6 OPT ICS A ND PRECISIO N EN G IN EER IN G J une, 1999 周明宝林大键 ( 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都6 10209) 郭容郭永康 ( 四川联合大学物理系成都610041) , , 1 , , , , , , , , , , , , , , 8 7 2 [ 1- 3] , , , , , 0. 1~ 0. 2nm; , 0. 1 nm ; , , 0. 05m ~ 0. 25m , , , , , , ( 1N , 0. 1m, 5 1012Pa) , , , 3 [ 4 - 5] , , , , [ 6] , , , ; , , , , [ 7] [ 8] , [ 9] [ 10] 1nm , [ 11] , , , , , [ 12] 3 9 , , , , , , , 4 [ 13] , , , , , , Michelson M irau L innik 1 Mirau [ 14] 1 ( b ) , , , F ig. 1 T hree m eans of interf er om etr ic m icroscopic topog raphy m ethods , , M irau , , , , M irau , , M irau , 10x , 20x 40x 1( a) Michelson , , , , Michelson M ichelson , M ichelson ( F ezeauT wy manGreen , M achZehnder ) , , 10 7 M ichelson , M irau , Michels