原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
微结构表面形貌的测量-光学精密工程
7 3 Vo l. 7 , N o. 3
1999 6 OPT ICS A ND PRECISIO N EN G IN EER IN G J une, 1999
周明宝 林大键
( 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都6 10209)
郭 容 郭永康
( 四川联合大学物理系 成都610041)
,
,
1
,
,
,
,
, ,
,
,
, , ,
, ,
,
8 7
2
[ 1- 3]
, , ,
,
, 0. 1~ 0. 2nm;
, 0. 1 nm ;
, , 0. 05m ~ 0. 25m
,
, ,
, ,
, ( 1N ,
0. 1m, 5 1012Pa) , ,
,
3
[ 4 - 5] ,
,
,
,
[ 6]
, , ,
; , ,
, ,
[ 7] [ 8]
,
[ 9] [ 10]
1nm
,
[ 11]
,
,
,
, ,
[ 12]
3 9
, ,
, ,
, ,
,
4
[ 13]
,
,
,
,
, ,
Michelson M irau L innik 1
Mirau
[ 14]
1 ( b )
,
,
,
F ig. 1 T hree m eans of interf er om etr ic m icroscopic topog raphy m ethods
, ,
M irau ,
, ,
, M irau
, ,
M irau , 10x , 20x 40x
1( a) Michelson
, , ,
, Michelson
M ichelson , M ichelson ( F ezeauT wy manGreen ,
M achZehnder ) , ,
10 7
M ichelson ,
M irau , Michels
文档评论（0）