模板法合成纳米通道在微流控系统中的应用-分析化学.PDF

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模板法合成纳米通道在微流控系统中的应用-分析化学

37 ( FENXIHUAXUE ) 6 2009 6 Ch inese Jo rnal of Analytical Chem istry 923~ 928 评述与进展 鹿燕 王 敏* (, 310058) , , , , , , , , , , , , 1 , , , , , , , , [ 1] , [ 2] , , , , , ; , ; , , , , , , DNA [ 1] , , , , [ 1~ 5] , [ 3] , ( b lk nanom a ch in ing) [ 6] , , ; , , , , , , ( electronbeam lithography, EBL) [ 7, 8] , ( foc sedion beam, FIB) [ 9, 10] ( proton beam w riting, PBW ) [ 11~ 13] , , ( s rface nanomach in ing) [ 14] ( sacrificial layer technology), , , ; , ( nanomi print lithography) [ 15] , ; ( b ried channel technology) [ 16] , ( chem ical vapor deposition, CVD); ( chem ical mechan ical polishing) [ 17] , , (No. 973(N o. 2007CB714503) * Em ail: m inw ang@ zj . ed . cn 37 924 , , , , , , , , [ 18] , , , , , , , , , , , , 2 , [ 19] , , , [ 20] , , Fan CVD , , , , 20 nm, , , [ 21] Goldberger , GaN , GaN , , , , [ 22] , , W olfr m , 520 nm , , , [ 23] G ao , , 2 1. 6 cm Teflon, , , MMP2(m atrix metallopeptidase 2), , , , , , , , , , [ 24] , H attori ,

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