电子微探仪电子微探仪.PDF

電子微探儀電子微探儀 ElectronElectron ProbeProbe MicroanalyzerMicroanalyzer 杜正杜正恭恭 、王凱正、、王凱正、 蔡淑蔡淑月月 Jenq-GongJenq-Gong DuhDuh ,, Kai-JhengKai-Jheng WangWang ,, Su-Su-YuehYueh TsaiTsai 電電子子微探儀微探儀係利用聚焦係利用聚焦電電子子束進行微束進行微區分析之區分析之電電子子顯微鏡顯微鏡 ，其分析方式與一，其分析方式與一般般常見的常見的能量散能量散佈光佈光譜儀譜儀相相 似，但其運作原理則似，但其運作原理則截然截然不同不同 。。 電電子子微微探儀是探儀是藉藉由分析特由分析特徵徵 XX 光的波長以光的波長以辨辨別元別元素，素， 其具有較佳的其具有較佳的峰峰值值 /背景/背景 (P(P//B)B) 比，故可比，故可進行較精確進行較精確的定量分析的定量分析 ，， 其其準確度準確度可可達達 100100 ppmppm 。。 本本文將文將先先介紹電介紹電子子微微探探儀儀的的發展發展 與與原理，再說明其分析方原理，再說明其分析方式與應式與應用用 。。 ElectronElectron probeprobe microanalyzermicroanalyzer (EPMA)(EPMA) isis aa scanningscanning electronelectron microscopemicroscope whichwhich employsemploys thethe focusedfocused electronelectron beambeam toto analyanalyzzee thethe compositioncomposition inin aa micromicro region.region. TheThe analysisanalysis methodmethod ofof EPMAEPMA isis similarsimilar toto thethe commercialcommercial energyenergy disperdisperssiveive spectrometerspectrometer (EDS).(EDS). HoweverHowever ,, thethe operationoperation principleprinciple isis entirelyentirely differentdifferent ffromrom EDS.EDS. TheThe theorytheory ofof EPMAEPMA isis toto analyzeanalyze thethe wavelengthwavelength ofof characteristiccharacteristic X-rayX-ray toto evevaaluateluate thethe elementelement concentrconcentraation.tion. TheThe quantitativequantitative analyanaly ssiiss cancan bebe carriedcarried outout byby EPMAEPMA duedue toto thethe goodgood PP// BB ratioratio ofof spectrumspectrum withwith thethe rere ssolutionolution betterbetter thanthan 100100 ppmppm .. InIn thithi ss articlearticle ,, thethe dedevvelopmentelopment aandnd ththeeoryory ofof EPMAEPMA areare rerevvealedealed ,, andand thenthen thethe analyanaly ssiiss methodmethodss andand applicationapplicationss areare alalssoo dedesscribed.cribed. XX 光微分光微分析析技術係由技術係由法國學者法國