电子显微镜介绍–SEM-材料世界网.PDF

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2017-06-25 发布于天津
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– SEM (Light Microscopes)300nm (Electron Microscopes) 1897(J.J. Thomson)(Electron) 1927 DavissonGermer J.J. Thomson Ruska 1932RuskaKnoll1934 Ruska(Transmission Electron Microscope TEM) (Scanning Electron Microscopy SEM) TEM ; 1935 1942Zworykin 1965Cambridge 300nm Abbe’s equation 0.61λ d ≥ n sin α n λ α (B)LEO 1530(Field Emission Scanning Electron Microscope FE-SEM) (A) SEM X... (C) (D)X (Energy Dispersive Spectroscopy EDS) X 50eV 5~50nm