电子显微镜培训课程.PDF

苏州纳米科技发展有限公司 电子显微镜电子显微镜培训培训课程课程 电子显微镜电子显微镜培训培训课程课程 主办单位主办单位： ： 主办单位主办单位：： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏州纳米科技发展有限公司 （一（一））培训目标培训目标： ： （（一一））培训目标培训目标：： 针对目前高等院校中没有开设电镜专业课程，但高校、科研机构 和企业非常需要培养和提高专业电镜工作者的情况，通过此次培训大 力推进园区纳米产业发展，提升人才培训培养水平，提高园区纳米产 业电镜从业人员专业能力。 （二（二））培训内容培训内容 （（二二 ））培训内容培训内容 开展电镜 （SEM、TEM）的短期培训工作。 （三（三））培训对象培训对象： ： （（三三））培训对象培训对象：： 1.园区从事半导体、集成电路和高分子材料的企业的电镜操作人员。 2.园区高校和研究机构的电镜操作人员。 ( (四四))培训课程安排培训课程安排 ((四四))培训课程安排培训课程安排 Ⅰ. SEM基础课程 对象与目的：初学人员或希望从新学习者，经此课程学习扫描电 镜原理并达到可独立操作。 授课内容： ⑴ 扫描电子显微镜结构与光学系统。 ⑵ 电子束与样品的相互作用与成像原理。 ⑶ EDS能谱原理与定性/定量化学分析。 ⑷ 样品制备的常用方法。 实验安排： ⑴ SEM的基本操作方法 (安装/合轴/二次电子成像方法)。 ⑵ 不同电压和不同模式下成像。 ⑶ EDS能谱获得，一维/二维扫描化学分析。 Ⅱ. SEM高级课程 对象与目的：为有一定扫描电镜基础的人员 （不低于30电镜小时 者）进一步掌握一些现代扫描技术的方法。 授课内容： 苏州纳米科技发展有限公司 ⑴ 低电压、减速模式、及现代扫描电镜中成像办法的进展。 ⑵ 微区阴极荧光谱的原理与光谱像。 ⑶ 用于电子器件测量的扫描电镜方法。 实验安排： ⑴ 利用低电压/减速模式从导电性差的样品直接获得高质量像。 ⑵ 在 MonoCL3 系统获取阴极发光光谱与光谱像获得。 ⑶ EBIC系统使用，电子空穴分布式P-N结成像。 透射电子显微镜 (TEM)短期课程计划 Ⅰ. TEM基本课程： 对象与目的：初学人员或希望从新学习者，经此课程学习透射电 镜原理并达到可独立操作的基本要求。 授课内容： ⑴ 透射电子显微主讲结构与电子光学系统。 ⑵ 电子与薄晶体的相互作用——运动学成像理论。 ⑶ 原子分辨的高分辨像基本原理 (动力学散射)。 ⑷ 扫描透射原理与 EDS扫描分析。 实验安排： ⑴ TEM(FEI 200 kV场发射)基本操作方法。 ⑵ HR-TEM原子像的获得与相应电子衍射谱。 ⑶ STEM模式成像与扫描分析 (一维线扫与二维面扫EDS谱与像 的获得)。 Ⅱ. TEM高级课程A – 材料缺陷的电镜观察 对象与目的：为有一定透射电镜基础的人员 （不低于30电镜小 时者）进一步掌握一些现代扫描技术的方法。 授课内容： ⑴ 电子衍射原理与衍射图的标定。 ⑵ 晶体学基础与结构确定。 ⑶ 晶体缺陷观察的衍射衬度原理。 实验安排： ⑴ 晶体倾转与电子衍射图的获得。 ⑵ 双光束衍衬像的明场、暗场和弱束方法。 Ⅲ. TEM高级课程 B – 材料微结构的电镜研究方法 对象与目的：为有一定透射电镜基础的人员 （不低于30电镜小时 者）进一步掌握一些现代扫描技术的方法。 苏州纳米科技发展有限公司 授课内容：