石墨烯於电晶体的发展与应用.PDF

石墨烯於電晶體的發展與應用 物理專文 石墨烯於電晶體的發展與應用 撰文　盧怡穎、鄭弘杰、廖均達、陳逸聰 石墨烯於2004年由兩位來自英國曼徹斯特大學的物理學家Konstantin Novosel- ov 和 Andre Geim 所發現，他們利用 3M 膠帶從石墨中剝離出來，並於 2010 年獲頒諾貝爾物理獎。近年來，研究人員發現石墨烯不僅在理論研究上，可以 作為驗證相對論量子電動力學的理想二維系統；同時也具有廣泛的實際應用， 例如：透明導電薄膜、場效電晶體、與生物感測器等多元化的應用。 前言 述 ，因此K 和K’ 點又稱為狄拉克點(Dirac point) 。 這獨特的電子能帶結構 ，使得石墨烯電晶體無法藉 石墨烯(graphene) 為蜂巢狀晶格之單層碳原子 由閘極的控制來關閉電流 。由於這微小開關比(on/ 所組成的二維結構 ，具有高載子遷移率 ，最高可 2 -1 -1 off ratio) 的特性 ，使之無法廣泛地應用於邏輯電路 ， 達~200,000 cm V s ，其值約為矽的100 倍[1] ，且 因此在石墨烯的眾多研究議題中，打開其能隙是重 在室溫下擁有微米級的平均自由徑 ，因此極具潛力 要目標之一 。 取代矽成為下一代半導體元件的核心材料 ，例如 ： 本段將介紹以量子侷域效應(quantum confinement) 石墨烯p-n junctions [2] ，或是石墨烯電晶體[3] 。本 以及摻雜(doping) 的方式 ，藉以打開石墨烯的能隙。 文將著重在石墨烯於電晶體的發展與應用之討論 ， 其中包含邏輯元件(logic device) 、射頻元件(radio- (1) 量子侷域效應 frequency device) 、以及生化分子與生物感測器(bio- 石墨烯奈米帶(nanoribbon) 可做為量子侷域效應 sensor) 。 之一例 ，從石墨烯奈米帶的邊界幾何形狀 ，又可分 為扶手椅型(arm chair) 和鋸齒型(zigzag) ，目前製備 邏輯元件 奈米帶的方法有電子束微影蝕刻 、電漿蝕刻 、和化 對於邏輯電路而言 ，因為石墨烯在無摻雜的情況 學方法 。Philip Kim 教授所帶領的研究團隊 ，利用 下 ，其導帶(conduction band) 和價帶(valence band) 電子束微影蝕刻 ，可得到寬度約20–90 nm 之間不等 相遇在布理淵區邊界(Brillouin zone) 的K 和K’ 點 ， 的石墨烯奈米帶[5] 。他們量測不同寬度的石墨烯奈 如圖一所示[4] 。所以石墨烯是零能隙(zero band