称二次电子.PPT

第三章 电子显微分析 一、分辨率——光学显微镜的局限性 1、分辨本领（Resolving Power） 是指光学仪器所能区分的两相邻物点之间最小距离，通常用δ表示，δ越小，表示能分清物体的细节越细，分辨本领越好。 2、提高分辨本领的途径 决定成象(分辨)质量的因素由以下三个因素来决定 第一，光线不可能传递所有信息，光波讯号是决定分辨本领高低的主要因素；光波的衍射(diffraction)现象 爱里斑(Airy Slit) 爱里斑的半径R与入射光波长λ，圆孔直径d的关系为 R=1.22(fλ/d) 第二，分辨本领的高低最决于光学仪器元件的精度； 对光学显微镜来说，起主要作用的是物镜，由计算得到光学显微镜所能分辨的最小距离δ=0.61(λ/n·sinα) 第三，对光学仪器而言，任何系统的最终像将形成在某种装置上，如眼睛的视网膜，电视摄像的镜头等，这些光学“仪器”的分辨率，不仅有一定的限制，而且仅能反映可见光。 二、电子显微镜工作原理和结构简介 （一）、电子性质 1．电子的波动性 粒子的波长与其具有的质量和运动速度有关； λ=h/mv 电子波是物质波的一种。高速运动的电子所具有的动能是由电场提供的： 1/2mv2=eV 由上两式可得出电子具有的波长应为； λ=h/√2emV=12.25/√V 其中h=6.62×10-34焦耳·秒 e=1.60×10-19库仑 m=9.11×10-31千克(电子的静止质量) 在电子显微镜中，电子的加速电压很高，电子速度很大，接近光速。此时需考虑运动速度对粒子质量的影响．根据相对性原理而得到电子波的波长表达式为： λ= 12.25/√V（1+0.9788×10-6V） 加速电压与电子波长 加速电压（kV） 电子波长（A） 加速电压（kV） 电子波长（A） 25 0.076 200 0.025 50 0.054 500 0.014 75 0.043 1000 0.0087 100 0.037 3000 0.0036 2．电子与物质的相互作用 电子的微粒特性决定了它在高速运动状态下通过物质时，会与物质相互作用产生散射和吸收。 (二)电子在电磁场中的运动特征 1、电子在静电场中的运动轨迹受电场的强度和形状制约。 当具有速度v的电子沿着与电场的等电位面法线成一定角度运动时，在电子进入电场中不同场强间的界面(等电位面)的瞬间，运动方向将发生改变。电子速度与电场等电位面法线的夹角的关系由下式决定； sinθ/sinγ=V2/V1 sinθ/sinγ= √v2 /√v1 静电透镜：我们把能产生凸透镜形状的等电位曲面簇的电极装置称为。下图表示出静电透镜与光学透镜光路的比较。 2．电子在磁场中的运动轨迹受磁场的强度和形状制约。 电子在磁场中运动，将受到洛伦磁力作用。在均匀磁场中，磁力线互相干行，等磁位面是一系列垂直于磁力线的平行平面.磁场方向是固定的，电子在其中运动将作圆周运动或沿着磁场方向作螺旋运动 电磁透镜光路与光学透镜光路的比较及电磁透镜的工作原理如图所示。 （四）、电子显微镜的工作原理和结构 1、电子显微镜和光学显微镜的异同 2、电子显微镜的结构: 现代透射电镜整体包括：电子光学系统；真空系统；电气系统；水冷却循环系统和压缩空气系统等。 显微镜主体是电子光学系统，简称为镜筒 （1）照明系统 电子枪 第一聚光镜 第二聚光镜 （2）样品室 样品移动机械装置 测角台 （3）成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 （4）观察记录系统 观察室 照相装置 三、透射电子显微镜和扫描电子显微镜 第三节 透射电镜（TEM） 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领，高放大倍数的电子光学仪器。测试的样品要求厚度极薄（几十纳米），以便使电子束透过样品。 TEM 透射电镜示意图 一、仪器结构 透射电子显微镜由三大部分组成： 电子光学系统， 真空系统 供电控制系统。 电子光学系统，又称镜筒，是电子显微镜的主体。 1、电子枪 2、聚光镜 3、物镜、中间镜和投影镜 4、消像散 5、荧光屏、照相系统 6、样品室 二、成像原理 透射电子显微