第十二讲$真空工艺.PDF

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第十二讲$真空工艺

第 期 , 真 空 =??@ ., 年 月 (22+ 0 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! ! 真 空 技 术 及 应 用 系 列 讲 座 ! ! ! ! 东北大学真空工程博士点 博士导师杨乃恒先生主持 ! ! 第一讲 真空科学的发展及其应用 # 李云奇 ! ! ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * %’() ! 第二讲 真空物理基础 张世伟 ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * %’+) ! 第三讲 机械真空泵 一 二 三 四 五 六 张以忱 ! $ ’ )’ )’ )’ )’ )’ )* * * * %’,)-’)-’.)-%.’/)-’()-’+) ! 第四讲 蒸汽流真空泵 姚民生 ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * %.’,) ! 第五讲 气体捕集式真空泵 徐成海 ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * %.’) ! 第六讲 真空测量 刘玉岱 ! ! ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * %.’.)-%0’/)-’()-’+)-’,) ! 第七讲 真空检漏 关奎之 ! $ * * * * * * * * * * * * * * * * * * %0’)-’.)-%1’/)-’()-’+) ! 第八讲 真空系统设计 王继常 ! $ * * * * * * * * * * * * * * %1’,)-’)-’.)-%%’/)-’()-’+) ! 第九讲 真空系统组成元件

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