课件失效分析技术和案例.pdfVIP

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营销研究失效分析技术和案例

第一部分 电子元器件失效分析技术 1. 失效分析的基本概念和一般程序 电子元器件失效分析技术与案例 2 . 失效分析的电测试 3 . 无损失效分析 4 . 模拟失效分析 信息产业部电子五所 5 . 制样技术 6 . 形貌像技术 费庆宇 7 . 扫描电镜电压衬度像 8. 热点检测技术 9 . 聚焦离子束技术 失效分析的基本概念 失效模式的概念和种类 • 失效分析的定义 • 失效的表现形式叫失效模式 • 失效模式 • 失效模式是失效的结果 • 失效机理 • 按电测结果分类,失效模式可分为:开 • 纠正措施 路、短路或漏电、参数漂移、功能失效 • 失效分析的作用 失效机理的概念 开路的可能失效机理 • 失效的物理化学根源叫失效机理 • 过电应力(EOS )损伤、金属电迁移、 • 失效机理是失效的原因 金属的电化学腐蚀、压焊点脱落、 CMOS 电路的闩锁效应、塑封器件的爆 米花效应 1 金属电迁移 过电应力(EOS )损伤 金属的电化学腐蚀 压焊点脱落 e

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