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激光干涉仪原理介绍;基本概念 – 激光干涉仪;基本概念—机床精度的21项误差;激光输出可视为一束正弦波.雷尼绍XL-80所用的激光的波长是633nm.
激光具有三个重要特性：
激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。
激光波长非常短，可以用于高精度测量。
激光具有干涉特性。;基本概念 – 激光的产生;基本概念— 激光的干涉特性;线性测量原理;线性测量光路图;
激光头
从激光头发出的激光被分光镜（A)分为2束光。
一束光经过固定的反射镜形成参考光.
另一束激光经过移动的反射镜 (C) 形成测量光.
反射光和测量光经过分光镜后汇合，并且彼此干涉.
;线性测量原理;线性测量原理;线性测量;ISO 230-2 (1997)- International
ASME B5.54 - U.S.A.
BS 3800 - U.K.
JIS B6330 - Japan
GB 10931-89 - China
VDI 3441 - Germany
E60-099 - France ;角度测量;???度测量;角度测量;角度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;垂直度测量;垂直度测量;平面度测量;平面度测量;回转轴测量 - RX10;回转轴测量 - RX10;为什麼需要补偿？;环境补偿单元;监控4个参数:
空气温度 \
空气压力 波长补偿
相对湿度 /
材料温度 - 材料补偿
;如果没有补偿会产生哪些误差?;;材料的热膨胀系数;交流与答疑。
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