激光微加工技术在集成电路制造中的应用.pdf

激光微加工技术在集成电路制造中的应用.pdf

  1. 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
激光微加工技术在集成电路制造中的应用

第 卷 第 期 光 学 与 光 电 技 木 , 月 〕 年 邑 ! 后 一 一 一 文 编号 章 ‘ 激光微加工技术在集成电路制造中 应用 志 晓 曹 宇 李祥友 蔡 祥 曾 雁 , ! 工国 心 汉 华中科技大学激光加 家工程研究中 武 以 , 、 、 、 区小 要 光 工 术 非 触 工方式 高效 无污染 高 热影响 点 电子 摘 激 微加 技 接 加 率 精度 优 在微 。 了 、 、 成电 制 了广泛应用 绍 成电 制 用 光 调 光打孔 激 集 路 造 中得到

文档评论(0)

liangyuehong + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档