实习报告总结刘凡.pptVIP

激光干涉仪的基本概念 什么是激光干涉仪 利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。 Renishaw激光器测量系统 仪器检测范围： 1.线性测量 2.角度测量 3.平面度测量 4.直线度测量 5.垂直度测量 6.平行度测量 激光干涉仪的连接 激光干涉仪工作原理 激光及其特点 激光输出可视为一束正弦波.雷尼绍XL-80所用的激光的波长是633nm. Wavelength 激光具有三个重要特性： 激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。 激光波长非常短，可以用于高精度测量。 激光具有干涉特性。 线性测量原理 安装方式 线性干涉镜和反射镜定位（1） 线性干涉镜和反射镜定位（2） 线性干涉镜和反射镜定位（3） 线性测量光路图 线性测量原理 激光干涉仪通过接收到的激光的明暗条纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的细微和准确变化。 + - = + + = 环境补偿单元 Renishaw XC80环境补偿单元的高性能可以保证在0-40度环境温度范围内，和650-1150 mbar的环境大气压范围内得到最高的测量精度。 空气压力 Accuracy: ±1.0 mbar 湿度 Accuracy: