晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档--概述.docVIP

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晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档--概述

晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档 概述 随着社会的发展和人类科技的进步,人工晶体材料在半导体、集成电路、太阳能光伏、LED、航空发动机涡轮叶片制造等领域中得到了广泛的应用。这些社会应用需求驱动了晶体生长科学与技术的迅速发展,人们借助先进的技术手段可制备各种优质的多功能晶体。此外,随着计算机软硬件技术的发展,利用高效的CAE数值模拟技术进行虚拟预测、优化晶体生长工艺,已成为提高产品质量与研发效率、降低研发成本的有效途径。 ??? FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件,由比利时新鲁汶大学教授Dr. Fran?ois Dupret于20世纪80年代中期领导开发。Dr. Fran?ois Dupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席,曾担任国际晶体生长(Journal of Crystal Growth)期刊主编。作为FEMAG公司创始人和首席科学家,Dr. Fran?ois Dupret主持开发的FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。 ??? ON Semiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。 ? ??? 目前,FEMAG软件包括以下六款产品: ? FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件 ? FEMAG CZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶体生长模拟软件 ? FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件 ? FEMAG/DS——FEMAG三维定向凝固模拟软件 ? FEMAG/VB——FEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件 ? FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件 ? ??? 经过近三十多年的开发与完善,FEMAG软件以其深厚的晶体生长理论基础、高效稳健的数值算法,业已在晶体生长数值计算领域处于国际领先地位。FEMAG软件可以高效地模拟晶体生长工艺过程以及预测晶体生长的质量,有力地促进了晶体生长技术相关的生产与研发工作。 ? ??? FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用: ? 半导体用单晶硅生产与研发 ? 太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发 ? 集成电路级单晶硅生产与研发 ? 航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发 ? LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发 ? 晶体生长熔炉设计与生产 全国统一客户服务热线:400 888 5100网址:www.CnT邮箱:info@ ii - 2 -

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