- 1、本文档共3页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档--概述
晶体生长仿真软件FEMAG介绍文档
概述
随着社会的发展和人类科技的进步,人工晶体材料在半导体、集成电路、太阳能光伏、LED、航空发动机涡轮叶片制造等领域中得到了广泛的应用。这些社会应用需求驱动了晶体生长科学与技术的迅速发展,人们借助先进的技术手段可制备各种优质的多功能晶体。此外,随着计算机软硬件技术的发展,利用高效的CAE数值模拟技术进行虚拟预测、优化晶体生长工艺,已成为提高产品质量与研发效率、降低研发成本的有效途径。
??? FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件,由比利时新鲁汶大学教授Dr. Fran?ois Dupret于20世纪80年代中期领导开发。Dr. Fran?ois Dupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席,曾担任国际晶体生长(Journal of Crystal Growth)期刊主编。作为FEMAG公司创始人和首席科学家,Dr. Fran?ois Dupret主持开发的FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法,VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、半导体、蓝宝石等领域。
??? ON Semiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。
?
??? 目前,FEMAG软件包括以下六款产品:
? FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件
? FEMAG CZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶体生长模拟软件
? FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件
? FEMAG/DS——FEMAG三维定向凝固模拟软件
? FEMAG/VB——FEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件
? FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件
?
??? 经过近三十多年的开发与完善,FEMAG软件以其深厚的晶体生长理论基础、高效稳健的数值算法,业已在晶体生长数值计算领域处于国际领先地位。FEMAG软件可以高效地模拟晶体生长工艺过程以及预测晶体生长的质量,有力地促进了晶体生长技术相关的生产与研发工作。
?
??? FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用:
? 半导体用单晶硅生产与研发
? 太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发
? 集成电路级单晶硅生产与研发
? 航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发
? LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发
? 晶体生长熔炉设计与生产
全国统一客户服务热线:400 888 5100网址:www.CnT邮箱:info@
ii
- 2 -
文档评论(0)