MEMS型电容薄膜真空计研究进展.pdfVIP

第23卷 第2期 真空与低温 2017年4月 VacuumCryogenics 63 MEMS 型电容薄膜真空计研究进展 李得天，孙雯君，成永军，袁征难，曹生珠，高青松 （兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000 ） 摘要：目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重，不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特 殊领域的真空测量需求。基于MEMS 技术的电容薄膜真空计，能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化， 突破了传统电容薄膜真空计外形及质量限制，具有体积小、重量轻、功耗低、便于集成化等优点，成为真空测量仪器研 究的热点，能更好地满足特殊条件下的真空测量需求。文章对MEMS 型电容薄膜真空计的发展现状、技术特点等进 行了探讨研究，并对其发展前景提出展望。 关键词：真空测量；MEMS