第七章 现代检测技术 半导体式传感器.ppt

10.1.4霍尔传感器的应用 当控制电流一定时，霍尔电压与磁感应强度成正比。利用这个关系可以测得交、直流磁感应强度、磁场强度等。利用霍尔元件制作的钳形电流表可以在不切断电路的情况下，通过测量电流产生的磁场而测得该电流值。 10.1.4霍尔传感器的应用 三、利用 与 的关系——可进行乘法运算或功率测量 如果控制电流为 ，磁感应强度 由激励电流 生 ，则据 ，霍尔电压可表示为 利用上述乘法关系，将霍尔元件与激励线圈、放大器等组合起来，可以做成模拟运算的乘法器、开方器、平方器、除法器等。 10.1.4霍尔传感器的应用 四、典型应用 用于非电量检测的霍尔传感器，通常是通过弹性元件和其他传动机构将待测非电量（如力、压力、应变和加速度等）转换为霍尔元件在磁场中的微小位移。为了获得霍尔电压随位移变化的线性关系，传感器的磁场应具有均匀的梯度变化的特性。这样当霍尔元件在这种磁场中移动时，如使控制电流保持恒定，而使霍尔元件在一个均匀的梯度磁场中沿方向移动，则霍尔电压就只取决于它在磁场中的位移量，并且磁场梯度越大，灵敏度越高，梯度变化越均匀，霍尔电压与位移的关系越接近于线性。 10.1.4霍尔传感器的应用 如图10-8所示是一种产生梯度磁场的磁系统，由极性相反、磁场强度相同的两个磁钢形成一个如图b所示的均匀的梯度磁场、位移轴的零点位于两磁钢的正中间处。 10.1.4霍尔传感器的应用 图10-8 霍尔式位移传感器原理示意图 10.2气敏传感器 为了确保安全，需对各种可燃性气体、有毒性气体进行检测。目前实用气体检测方法很多，其中接触燃烧法和用半导体气敏传感器检测法具有使用方便、费用低和可把气体浓度转换成相应电量输出的特点。由于接触燃烧法中使用的催化剂长期使用时容易劣化和中毒，灵敏度又较低，故现在多使用半导体气敏传感器。 10.2气敏传感器 气敏电阻是利用半导体与气体接触而电阻发生变化的效应制成的气敏元件。半导体陶瓷与气体接触时电阻发生变化，当接触氧化性气体时，气敏电阻的阻值将增大；当接触还原性气体时，气敏电阻的阻值将减小；被测气体浓度越大，电阻变化越大。 10.2气敏传感器 1.材料 半导体陶瓷是利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材料。在诸多的半导体气敏元件中，由于用氧化锡 制成的元件有一系列优点，故应用最为广泛。 10.2气敏传感器 (1)气敏元件阻值随检测气体浓度具有指数变化关系，因此这种器件非常适用于微量低浓度气体的检测。 (2) 材料的物理、化学稳定性较好，与其它类型气敏元件(如接触燃烧式气敏元件)相比， 气敏元件寿命长、稳定性好、耐腐蚀性强。 (3) 气敏元件对气体检测是可逆的，而且吸附、脱附时间短时间使用。 10.2气敏传感器 (4)元件结构简单，成本低，可靠性高，力学性能良好。 (5)对气体检测不需要复杂的处理设备。待检测气体可通过元件电阻变化直接转变为电信号，且元件电阻率变化大，因此信号处理可不用高倍数放大电路就可实现。 由于上述特点， 半导体气敏元件一直是目前世界上生产量大、应用面广的气敏元件。 半导体气敏元件一直是目前世界上生产量大、应用面广的气敏元件。 2.组成气敏电阻体和加热器 3.结构 气敏元件主要有三种类型：烧结型、薄膜型和厚膜型。 其中烧结型气敏元件是目前工艺最成熟、应用最广泛的元件。 10.2气敏传感器 10.2气敏传感器 图10-9 半导体气敏电阻元件的结构 10.2气敏传感器 4.电路符号 ①直热式：直热式气敏元件的优点是：热容量小，易受环境气流的影响；测量回路与加热回路间没有隔离，互相影响；加热丝在加热和不加热状态下产生涨缩，易造成与材料的接触不良。 ②旁热式：旁热式气敏元件克服了直热式的缺点，其测量极与加热丝分开，加热丝不与气敏元件接触，避免了回路间的互相影响；元件热容量大，降低了环境气氛对元件加热温度的影响，并保持了材料结构的稳定性。故这种结构元件稳定性、可靠性都较直热式有所改进。 * 第10章半导体传感器 10.1霍尔式传感器 10.2气敏传感器 10.3湿敏传感器 1970年，荷兰科学家研制出了对氢离子响应的离子敏感场效应晶体管，标志着离子敏半导体传感器的诞生。半导体传感器以易于实现集成化、微型化、灵敏度高等诸多优点，一直引起世界各国科学家的重视和兴趣。由于电子技术的飞