ZZS1100-8型箱式真空镀膜机操作手册.doc

箱式真空镀膜机 A01操作手册 操作规程 开机前检查水、电、气。依次接通总水源、总气源、总电源。 1水：水塔储水充足，水压约0.2~0.25MPa,水流约20~30 L/min水温≤20℃ 。 2电：总功率约50KW，220V/380V，50HZ。 3气：气压0.6Mpa。 开机。打开总电源开关(总电源信号灯亮）—→真空自动→开机。扩散泵温度必须大于250℃（约预热1小时）。打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。打开监控系统电源，打开坩埚电源。 蒸发室清洁。按下取件按钮打开室门。用吸尘器吸掉室体内部表面灰尘，活动挡板和坩埚清洁，电子枪清洁及保养，检查晶振片更换。 材料添加。首先检查坩埚号是否与制程相对应；坩埚是否转换到位。不同材料有不同的添加方法，某些材料首次添加需按层次添加（每添加一层都要进行融药），材料每次不可添加的过多，材料的添加与消耗成正比。 蒸镀前。以上步骤完成后卡伞方可上架，关闭蒸发室门（检查制程）—→真空 加温烘烤。当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。按下按钮烘烤1—→烘烤2—→烘烤3—→工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到设定值320℃时.必须稳定10分钟。） 融药。真空度达到高真空（高真空信号灯亮，真空度为5.0E-3。） 坩埚转换到手动打下控制开关自动—→手动。电子枪转换到手动打下控制开关EXT—→INT。打开外控选择按钮ACC—→FIL。融料时需注意事项： 1、挡板是否在关闭状态。 电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值。 高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料。 高功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10秒。 融完后按下外控按钮OFF。电子枪转换到自动INT—→EXT，同时EMN—→SCAM—→POS转换到自动。坩埚转换到自动手动—→自动。 八、 镀前准备。 温度达到设定值后必须稳定10分钟 真空度必须小于2.0E-3。 烘烤加温与抽真空共计时间必须达到30分钟。 制程选择。与被蒸镀物相对应。 工转电压调到2.0V 电子枪打开外控选择按钮ACC—→FIL。 九、 蒸镀（满足以上条件及检查后方可进行以下步骤）。按下监控按钮STOP—→RESET—→START 蒸镀时须注意坩埚的转换是否与制程相对应，是否转换到为，电子枪的功率与斑点是否有浮动，及斑点位置是否在坩埚中心位置。同时要观察蒸镀时的速率、电流大小；氧气的流量。 蒸镀完成。蒸镀完成后先关电子枪外控按钮OFF；工转电流调到0.5V进行2分钟烘烤，关烘烤1—→烘烤2—→烘烤3。工转调到0.5V。烘烤温度必须低于280℃方可开门，按取件进行泄气开室门，然后取出卡伞进行清洁、添加材料进行下次蒸镀，从打开室门到关门时间为5分钟左右。 关机。先清洁蒸镀室，关室门抽真空（手动关门），蒸镀室在停机状态下保持低真空状态。按真空（低阀信号灯亮）—→自动冷泵（扩散泵降温约1.5小时）。关坩埚电源、监控系统、关电子枪高压电源、氧气阀。当真空系统自动关闭后关掉总电源、总水源、总气源。 日期：2011.4.1