MEMS质量流量计在城市天然气计量的应用_谭小平.pdfVIP

31 11 煤气与热力 Vol． 31 No． 11 第 卷 第 期 2011 11 GAS ＆ HEAT Nov． 2011 年 月 MEMS 质量流量计在城市天然气计量的应用 1 1 2 ， ， 谭小平 吴德才 黄立基 (1． ， 400021 ;2 ． 重庆凯源石油天然气有限责任公司 重庆 矽翔微机电系统 ( ) ， 200233) 上海 有限公司 上海 : (MEMS) 、 、 ， 摘 要 介绍了微机械电子系统 质量流量计的构造 工作原理 技术特性 探讨了 MEMS 、 、 ， 。 质量流量计的校准 对前直管段的要求 可靠性和温度性能 实流检测及实际应用 膜式表 MEMS ，MEMS ， 和 质量流量计的实际应用效果对比显示 质量流量计比膜式表测量相对误差小 始动 流量小。 : ; ; ; 关键词 微机械电子系统 质量流量计 膜式表 实流检测 中图分类号:TU996 文献标识码:B 文章编号:1000 － 44 16 (20 11)11 － 0A39 － 04 Application of Mass Flowmeter with Micro-electro-mechanical System to City Natural Gas Metering TAN Xiaoping ， WU Decai ， HUANG Liji Abstract : The structure ，working principle and technical features of mass flowmeter with micro-e- lectro-mechanical system (MEMS)are introduced． The calibration of mass flowmeter with MEMS ，the requirement for front straight pipe section ，the reliability and temperature performance ，the actual flow measurement and the practical application are discussed． The practical application effect comparison be- tween diaphragm meter and mass flowmeter with MEMS shows that the relative measurement error and starting flow rate of mass flowmeter with MEMS are less than those of diaphragm meter． Key