薄膜磁件的研究进展与应用.pdfVIP

第 卷 第 期 ! ## ()*+! ,)+’’ 年 月 9:;=:?2: $23 $%% ’# ,)-./0.1 收稿日期! )$$#’$,’$( ! ’ (! ! ! ! # 作者简介 王 琪 -*,’ 男 甘肃高台人 邯郸供电公司高级技师 长期从事电气试验工作 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 薄膜磁件的研究进展与应用 程瑞军!叶 宁!杨玉岗 !辽宁工程技术大学电气工程系! 辽宁 阜新 !#$$$ ! ! ! 介绍了薄膜变压器 薄膜电感器及集成化薄膜磁性件的结构 材料 性能及应用 摘要! 关键词 薄膜变压器 薄膜电感器 薄膜集成磁件 ! ! ! 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! ! !#$ % $$’(#)* )$$+ ’$$,’$# 隙的面积分别为 ! ! 2388 :3(88 23(88 :3(88 !引言 2388:3(88 !铜绕组宽度为2388 !相邻绕组间距 随着电子系统向高集成度 高复杂度方向发展! 为23(88 $ 这种变压器结构还可以采用磁控溅射和 # ! $ 势必要求在更小的基片上集成更多的元器件 这除 离子刻蚀相结合的方法来制造 但是工艺难度较大 了要求发展高密度集成技术外! ! 从器件本身出发 研 !! 一 二次绕组同轴排列的薄膜变压器 制小型化 薄膜化的器件 以减小系统的整体体积 ! 重量 无疑为一可行的途径 磁性元件在电子系统中 ! $ 占有较大的体积! 因此其小型化成为整个系统小型 !# !$# %# $ % 化的关键 近年来美国 日本 韩国 等国家的一 些高校和科研机构对此进行了一系列的研究! 取得 了显著成果 国内的研究基本处于试验阶段%’ (# !还 $ 没有引起广泛的重视 仅有成都电子科技大学和苏 ! 州大学在进行相关的研究$在本文中!笔者对最近国 图$ % 型薄膜变压器的结构示意图 内外薄膜磁性元件的研究与应用加以简单介绍$