SPM清洗机台采购项目需求-中航重庆微电子有限公司.docVIP

第章须知条款号 条款名称 编 列 内 容 项目名称 施工地点 参与人资质能力要求 参与人应具备以下资格条件： 1、营业执照 具有独立的法人资格 提供水槽机台给6寸及以上fab使用,8寸fab优先 （2） 提供demo机台优先 踏勘现场 ■不组织，联系 交货期：出PO后 120个日历日交货。装机时间:交货之日起30日历天。 ※1.6 签字或盖章要求 文件的均须经法定代表人或其授权的代理人签字或盖章确认。 文件正本一份副本份商务正本一份副本份正本一份副本份盖章确认。 截止和报价开启时间 报价评比方法 报价资格符合要求的厂商，按照最低价原则，价格由低到高进行排名， 与排名顺位第一和第二名进入谈判。 第二章 技术标准及要求 我单位因为产能增加的需求，需要一台8寸post clean tool，以满足公司生产投片的需要。 机台结构图. 本体 本体：由耐腐蚀阻燃PP内包不锈钢骨架材料焊接而成，耐强酸碱，封闭式，防止酸气外溢 骨架：优质碳钢骨架，外包PP板 布局：本体前部为工艺槽，后部为管路区与电气控制区 安全门：透明PVC 主机台设备外形尺寸: 小于等于长X宽X高(单位mm)= 3500X2000X2400 SPIN Dryer设备外形尺寸：小于等于长X宽X高(单位mm)= 900X900X1200 台面：工艺槽的槽口边缘设有止口，防止台面板的水流入槽内；台面板上设有若干小孔，用来排除台面板上的液体 维修门：在相应的区域，均设有活动维修门，方便维修安装 定位：配备万向脚轮与调平地脚 照明：日光灯 高效：CLASS 10级 工艺槽 SPM槽：（加热+循环C）(TANK1) 槽体形式：四周溢流循环, 内槽边45度锯齿形 槽体材质：GE124 槽体尺寸体积：可容纳2个8寸花篮（25片/篮） 工艺温度：120±2℃ 控温范围： RT-130℃ 温度控制：PIDPT100 加热器：贴膜加热器，位于石英槽体四周与底面 或者 in line heater 循环泵：进口耐高温气动泵（品牌White Knight或者IWAKI）/泵最大流量不低于20LPM 过滤器空间：可以安装Pall LDFGT1UCFTL12E2-K3 or Entegris QCDVATXTH 注水：无 液位检测： 内槽：N2背压式，排空液位/低液位/高液位 外槽：N2背压式，排空液位/低液位/工作液位/高液位/溢出液位 槽盖：自动槽盖，材质PTFE，气缸驱动 自清洗功能：有 排放：气动阀控制，射流器射流排放，排入用户厂务排废管路 配液： 配液混合比例范围 H2SO4:H2O2 =1:9 (本协议仅对此药液比例范围有效) H2SO4自动配液，通过CDS供给 H2O2自动配液，通过预备槽供给 补液： H2O2自动补液，预备槽 H2SO4 自动补液，通过CDS 供给 控制界面可设定主要参数： 工艺温度 工艺时间 可设定换酸工艺参数,使用时间次数,和手动功能 HQDR槽：（喷淋+溢流+快排）（TANK2） 槽体形式：四周溢流结构,内槽边45度锯齿形 槽体材质： PVDF 槽体尺寸体积：可容纳2个8寸花篮（25片/篮） 工艺温度：50℃，设有在线加热器，对厂务DIW进行在线加热，满足晶圆快速冲洗 注水：1路热DI注入，底部溢流注水管路，气动阀控制，流量可调； 喷淋：位于槽体上部两侧，气动阀控制（热DI） 鼓氮：有，压力与流量可调 液位检测： N2背压式，排空液位/高液位 槽盖：无 排放：快排阀快速排放 控制界面可设定主要参数： 循环次数 喷淋时间/溢流时间 QDR槽：（喷淋+溢流+快排）（TANK3） 槽体形式：四周溢流结构,内槽边45度锯齿形 槽体材质： PVDF 槽体尺寸体积：可容纳2个8寸花篮（25片/篮） 工艺温度：RT 注水：1路室温水注入，底部溢流注水管路，气动阀控制，流量可调； 喷淋：位于槽体上部两侧，气动阀控制（室温水） 鼓氮：有，压力与流量可调 液位检测：无 槽盖：无 排放：快排阀快速排放 水阻计：确认wafer上面无残酸，设定警报值，触发机台报警停止工作 控制界面可设定主要参数： 循环次数 喷淋时间/溢流时间 SPIN Dryer 槽体尺寸体积：可容纳2个8寸花篮（25片/篮） 管路系统 纯水管路采用PVDF/PFA材质 化学液管路采用PFA材质，阀门PFA 氮气/CDA低压报警 排风系统 排风系统设置于本设备的后上部 排风的形式采用后侧、上排风 排风口处设有手动调节风门，操作人员可根据情况及时调节排风量 排风管路设有压差表 排风压力检测，低压报警 进出料工位 上料时， 人工将花篮放在定位平台上，机械手自动将花篮取走 下料时， 机械手自动将花篮放在定位平台上，设备报警提示人工取走 传送机械手 置于本体前下部，本体前对应位置有活动