0Cr18Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀2012.pdfVIP

第20卷第1期 光学精密工程 V01．20No．1 andPrecision 2012年1月 0ptics Engineering Jan．2012 文章编号 1004—924X(2012)O卜0045·07 0Crl 8Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀 徐 斌1，伍晓宇¨，罗 烽1，杜晨林2，孙秀泉2 (1．深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室，广东深圳518060； 2．深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室，广东深圳518060) 摘要：利用飞秒激光对厚度为20肛m的OCrl8Ni9不锈钢箔进行了表面烧蚀、微细切割等试验，并研究了不锈钢箔的烧蚀 特性。首先．根据烧蚀区域的直径和脉冲能量的关系，得到了OCrl8Ni9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阈值，并估算了飞秒激光 的束腰半径。然后，对飞秒激光切割不锈钢箔的边缘进行金相观察并测试了切割试件的电