18寸至24寸的石英坩埚变形问题.docVIP

18寸至24寸的石英坩埚变形问题 变形是和熔料、装料、料种类有关！ 针对现在同内的这些石英坩埚都有变形的现象，有的还会底部凸起，有的里面人工石英涂层还会掉进料里，但变型我个人认为，一是装料，二就是化料水平，三是石墨坩埚和坩埚的底托，如里这三个都没有问题，还是变形，那就是他的质量有问题，因为石墨坩埚的设计样子和石英坩埚变型有很大的关系。 一、装料 坩埚上沿部门，装的料块的粒度太小块（小于30MM的）容易粘，但要不高温烤料，不容易使埚变形；太大块、不易粘、但一但粘上很容易使石英坩埚变形。料块与埚壁的接触面积越小越好也就是装料时，尽量使一块料与埚接触的面积要最小（当然，可能有别的原因制约，做不到最小。但要尽量少） 二、化料 化料时间与装料多少有关，一般建议60KG投料量4~4.5小时；80KG5小时左右。熔料过快就意味着熔料的功率高，温度也高，石英坩埚高温下易变形；熔料过慢，意味着温度较低，虽然温度较低，石英坩埚也是处于软化状态，硅料块似熔非熔状态也是较“粘”，粘在埚壁，由于料块自身重力，加之石英埚目前本身也较软造成变形。目前国内流行的热场的配置都很相似，大多是熔料开始时候，石英埚处于加热最低或很低的位置（升不高，因为埚内装了硅料，堆成小山状，又有热场的导流罩限制最高位置）这时石英埚上沿一般都处于加热器的中部或中上部，这个位置是温度最高的地方，待熔化一段时间后硅料下塌，埚的位置就可以在升高一些，尽量使埚上沿脱离开加热哭的高温区。而这时候，如果埚的位置没及时升上去使埚上沿处于高温区时间较长也容易变形。 三、石墨坩埚和石英坩埚 石墨坩埚和石英坩埚的匹配问题，很好理解，但要注意石英与石墨在高温下，起化学反应，生成一氧化碳气体，如果石英坩埚与石墨坩埚配合很紧或石墨坩埚（一般都是三瓣）瓣之间缝隙很小，产生的气体不易排出，会使坩埚底部鼓包。 料的杂质太多，大家都以为杂质多就只是析晶太严重或者漏。其实如果杂质太多，加后面有时候排气不顺畅的话，杂质在飞腾的时候会粘在坩埚上口，造成上口发黄，严重的也要造成上口变形。 热产安装也很重要，热产安装的时候要同心，托盘要平，每次安装的时候都要测量下是否符合要求。热产就是那些石墨件，主要是加热器