三角法光学非接触测量头应用中的关键技术!-天津大学期刊中心.PDFVIP

第# 卷! 第$ 期 天! 津! 大! 学! 学! 报 ()*+ #! ,)+ $ ! %’ 年$ 月 !#$%’ ( )*%+*% ,%*-.$/*01 -./+ %’ ! 三角法光学非接触测量头应用中的关键技术! $ $ % % % % % 吴奎先 ，杨仁平 ，张国雄 ，李敬杰 ，裘祖荣 ，于复生 ，冷长林 （$+ 中国工程物理研究院化工材料研究所，绵阳0%$1 ； % + 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津2% ） 摘! 要：光学非接触测头在其实际应用中，有一系列问题需要解决+ 为此，对三角法测量头的灵敏度与特性标定、 工件的倾斜与颜色的影响、光束功率与引起的温升、测头的位置找正、测头系统的作用半径标定等应用中的关键技 术进行了实验研究，提出了误差补偿、提高调整和标定精度以提高光学非接触测头使用精度的方法+ 关键词：测量；非接触测头；三角法；标定；作用半径 中图分类号：341$! ! ! 文献标志码：5! ! ! 文章编号：617 %$2 （%’ ）$7 017 ’ 2.1 344’*50*% ).56%*7#./ ( 840*5’ )$*%9#’0*% :%;%050 =$./ 89 :;7=./$ ，5,? @A/7B/C$ ，DE5,? ?;)7=)/C% ，FG -/C7HA% ，IG9 D;7J)/C% ， 9 K;7LMA/C% ，FN,? OM./C7*/% （$+ G/LPP;PA )Q OMARS.* T.PAJ.*L ，OM/. 5S.UARV )Q N/C/AAJ/C 4MVLSL ，T./V./C 0%$1 ，OM/. ； % + WP.PA :AV F.X)J.P)JV )Q 4JASL)/ TA.L;J/C 3ASM/)*)CV ./U G/LPJ;RA/PL，3./H/ 9/YAJLPV ，3./H/ 2% ，OM/. ） 3/0$50 ：3MAJA .JA . LAJAL )Q BJ)X*ARL P) XA L)*YAU / BJ.SPS.* .BB*S.P)/L )Q PMA )BPS.* /)/7S)/P.SP BJ)XAL+ 3MAJAQ)JA ，L)RA ZAV .BB*S.P)/ PASM/[;AL /S*;U/C RAPM)U Q)J LA/LPYPV S.*XJ.P)/ ./U BAJQ)JR./SA PALP )Q PJ./C;*.P)/ BJ)XAL ，/Q*;A/SAL )Q L;JQ.SA /S*/.P)/ ./U PL S)*)J ，)BPS.* XA.R B)\AJ ./U PMA PARBAJ.7 P;JA J.LA S.;LAU ，PASM/[;A Q)J BJ)XA B)LP)/ .*C/RA/P ，PASM/[;A Q)J S.*XJ.P/C PMA AQQASPYA J.U;L )Q PMA BJ)X/C LVLPAR ，.JA LP;UAU A=BAJRA/P.**V+ TAPM)UL Q)J AJJ)J S)RBA/L.P)/ ，.*C/RA/P ./U S.*XJ.P)/ .SS;J.7 SV A/M./SARA/P P) RBJ)YA PMA .BB*S.P)/ .SS;J.SV )Q )BPS.* /)/7S)/P.SP BJ)XAL .JA BJ)B)LAU+ 2.1?$@/ ：RA.L;JARA/P ；/)/7S)/P.SP BJ)XA ；PJ./C;*.P)/ ；S.*XJ.P)/ ；AQQASPYA J.U;L ! ! 尺寸