棱镜耦合法的理论改进与实验设计.PDFVIP

维普资讯 浙 江 大 学 学 报 (工学版) 第 41卷第 12期 JournalofZhejiangUniversity(EngineeringScience) Vo1．41No．12 2007年 12月 Dec．2007 棱镜耦合法的理论改进与实验设计 肖丙刚 。，胡 骏 (1_中国计量学院信息工程学院，浙江 杭州 310018；2．浙江大学 光及 电磁波研究中心，浙江 杭州 310058) 摘 要 ：为了能更精确地测量薄膜厚度及其折射率，介绍了一般棱镜耦合法的测量理论和实验方法，分析了一般的 棱镜耦合法测量模型本身存在的理论误差．从测量理论上对棱镜耦合法进行了改进，提出了精确测量模型，减小了 上述理论误差，同时给出了薄膜参数的简便计算方法，从理论上分析了薄膜参数计算方法的误差．用传输矩阵的方 法进行 了模拟论证 ，设计 了实验装置 ，测量了在玻璃基底上甩胶法得到的Su一8薄膜 ，测量结果表 明，改进 的精确测 量模型减小了测量误差，提高了测量精度． 关键词：导波光学；棱镜耦合法；色散方程；Newton-Raphson方法；传输矩阵法 中图分类号 ：TN25 文献标识码 ：A 文章编号 ：1008—973X(2007)12—2040—04 Theoreticalimprovementandexperimentaldesign ofprism coupler XIAOBing—gang 。HU Jun。 (1．CollegeofInformationEngineering，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China； 2．CenterforOpticalandEzec￡r0tnge￡cResearch，Z^ejiangUniversity，Hangzhou310058，China) Abstract：Themeasurementprincipleandexperimentaldesignofanormalprism couplerwerediscussedin orderto accuratelymeasurethefilm thicknessandrefractive index．Thetheoreticalerrorsofanormal prism couplermeasurementmodelwereinvestigated，thenanaccuratemodelwaspresentedthroughimpro— vingthemeasurementtheory．Theconvenientmethodforcalculatingthethicknessandrefractiveindexof adielectricfilm wasgivenanditstheoreticalerrorswereanalyzed．Themethodwasprovedbypropagating matrixmethod．W iththespeciallydesignedexperimentequipment，thethicknessandrefractiveindexofa Su一8film on glasssubstrateby spinning coatingweremeasuredusing theaccuratemode1．Theresults showedthattheprecisionmeasurementmodelimprovesthemeasurementaccuracy． Keywords：guided—waveoptics；prism coupler；dispersion equation；Newton—Raphsonmethod；propagating matrjxmethod 近年来随着光通信技术的发展 ，集