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Au掺杂花状In2O3微结构的制备及其气敏特性研究

张 萌 等: 掺杂花状 微结构的制备及其气敏特性研究   Au InO 2 3 05133 文章编号: ( ) 1001G9731201605G05133G05 Au掺杂花状InO微结构的制备及其气敏特性研究∗ 2 3 , , , , 张 萌 梁燕飞 张 俊 张文栋 胡 杰       ( , ) 太原理工大学 信息工程学院 新型传感器与智能控制教育部重点实验室 微纳系统研究中心 太原 030024 : ( , , ( )) . 摘 要 采用水热法制备了不同浓度 和 摩尔分数 掺杂的花状 微结构 利用 射     0% 1% 3% 5% Au InO X 2 3 ( )、 ( ) ( ) 、 线衍射仪 XRD X射线能谱分析仪 EDS和扫描电子显微镜 SEM 对合成的InO 的晶相 成分和微观形貌进 2 3 . , , . , 行表征与分析 分析结果表明 制备的花状微结构的平均粒径约4 m 花状纳米片的厚度约为25nm 同时 对 μ , , ( ) , 制备的 掺杂 气体传感器的气敏特性进行了研究 实验结果表明 在最佳工作温度 条件下 Au InO 250℃ 3% 2 3 ( ) -6 , 摩尔分数 Au掺杂InO 气体传感器对 100×10 丙酮气体的灵敏度达到23.1响应时间和恢复时间分别为 10 2 3 和 .最后对 掺杂 的气敏机理进行了分析. 13s Au InO 2 3 : ; ; ; ; 关键词 水热法 花状 掺杂 丙酮 气体传感器   InO Au 2 3 中图分类号: 文献标识码: : /   A DOI10.3969 .issn.1001G9731.2016.05.025 j

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