纳米精度运动台电机伺服参数校准方法研究.PDFVIP

第 29 卷 第 21 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.29 No.21 Jul. 25, 2009 2009 年 7 月 25 日 Proceedings of the CSEE ©2009 Chin.Soc.for Elec.Eng. 87 0258-8013 (2009) 21-0087-06 TM 359 A 470 40 文章编号： 中图分类号： 文献标志码： 学科分类号： ⋅ 纳米精度运动台电机伺服参数校准方法研究 李小平，李志科，陈学东，段正澄 (华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室，湖北省 武汉市 430074) Calibration Method for Motor Servo Parameters of Nano-precision Motion Stage LI Xiao-ping, LI Zhi-ke, CHEN Xue-dong, DUAN Zheng-cheng (State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment Technology (Huazhong University of Science and Technology), Wuhan 430074, Hubei Province, China) ABSTRACT: The nano-precision wafer stage with 密数控机床、高精密光学加工与检测等设备中得到 multi-degree-of-freedom is affected directly by motor force 了广泛应用，其运动精度直接影响这些设备的整机 constants and the gain balance matrix which needs to be 性能[1-3] 。运动台的运动精度不仅与其控制模型和算 calibrated periodically. The actual motor load is not equal to 法直接相关，还受模型和算法中的参数精度影响。 the theoretical motor load and it changes with time, so it 电机伺服参数是模型和算法参数中的关键参数，通 reduces the performance of the wafer stage to use theoretical motor load directly. In order to perform the motor force 常直接采用离线测量值或设计值[4-10] ，但对于纳米 constant calibration, the actual motor load is calculated 精度运动台，这些参数计算的精度不高会直接导致 according to the transfer function derived from the 运动台的精度下降，甚至无法达到精度要求[11-12] ； mathematical model of the wafer stage and the relationship 此外，电机的伺服参数会随时间发生变化，并且实 between the motor load and the motor force constant is