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脉冲电弧放电电离甲醇氨水溶液合成结晶氮化碳薄膜-新型炭材料
第 卷 第 期 新 型 炭 材 料
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文章编号： （ ）
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脉冲电弧放电电离甲醇 氨水溶液
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合成结晶氮化碳薄膜
马志斌， 万 军， 黄杨风， 汪建华
（武汉化工学院材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北 武汉 #%-% ）
摘 要： 利用脉冲电弧放电在大气压下产生的高密度等离子体研究了结晶氮化碳薄膜的低温合成。直流脉冲电
弧等离子体由甲醇 氨水溶液液滴通过高压电极时诱导放电产生。利用扫描电子显微镜、 射线衍射、 光谱
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分析了薄膜样品的形貌和结构。在基片温度为 时所制样品的 射线衍射分析表明薄膜中含有 和
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两种结构晶体， 光谱给出了明显的特征峰，这些特征峰与氮化碳晶体的理论预言值符合较好。当基
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片温度提高到 时， 光谱分析表明，样品为炭膜。
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关键词： 氮化碳薄膜；脉冲电弧放电；甲醇 氨水溶液
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中图分类号： 4 ## , ) 56 )!- , )0 ’ 文献标识码： 7
) 引言 温度提高后薄膜中的氮含量会急剧减少。由于提高
基片温度有利于氮化碳结晶体的形成，因此如何在
2 3 晶体自从7 , 8 , 9$. 和: , 9 , 2;),/ 在理论 提高基片温度的情况下保证薄膜中氮的含量是进一
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上对其结构和性能进行预言后 ，实验室的合成研 步提高氮化碳薄膜质量的关键。本工作在3! 气环
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究已有十多年，方法主要有激光烧蚀石墨靶 ，反应 境中利用脉冲电弧放电电离甲醇和氨水的混合溶液
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溅射 ，等离子体化学气相沉积 和离子注入 研究了结晶氮化碳薄膜的合成。
等，但这种超硬材料的合成结果并不理想，主要表现
在沉积物多为非晶23 薄膜。同时
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