关键因素对化学镀铁镀速的影响研究.pdfVIP

· 88 · 材料导报B：研究篇 2011年 11月(下)第25卷第 11期 关键因素对化学镀铁镀速的影响研究 张 敏 ，李林泽 ，何 为 ，胡文成 ，万小波。，张云望 ，杜 凯。，张 林 (1 电子科技大学微电子与固体电子学院，成都 610054；2 中国工程物理研究院激光聚变中心，绵阳62190O) 摘要 以有机玻璃为镀件，通过化学镀铁工艺构建了应用于惯性约束核聚变实验的铁黑腔。采用离子钯为活 性剂，考察了氯化钯质量浓度对镀层覆盖率的影响；详细研究了镀液中主盐硫酸亚铁、还原剂硼氢化钠和缓冲剂硼 酸、工艺条件 (pH值和温度)对镀速的影响规律。实验结果表明，随着镀液 中主盐和还原剂质量浓度的增加，镀速明 显加快；而缓冲剂对镀速的影响相对较小；随着pH值和温度的升高，镀速也明显加快。对相应的影响机制进行了探 讨，为最终建立动力学方程打下了基础。 关键词 化学镀铁 离子钯 影响因素 镀速 中图分类号 ：TQ153 文献标识码：A ExperimentalInvestigationontheEffectofKeyFactorsonPlatingRateof ElectrolessIronPlating ZHANG M in ，LILinze，HEW ei，HU W encheng ，W AN Xiaobo ， ZHANG Yunwang ，DU Kai。，ZHANG Lin (1 SchoolofMieroelectronicsandSolid-StateElectronics，UniversityofElectronicScience8TechnologyofChina． Chengdu610054；2 ResearchCenterofLaserFusion，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900) Abstract Ironhohlraum targetforapplicationininertialconfinementfusion (ICF)experimentwasprepared throughanelectrolessironplatingprocessusingpoly(methylmethacrylate)(PMMA)asasubstrate．Fheeffectofthe concentrationofpalladium ionsoncoverageratiowasinvestigatedinactivationstep．Theinfluenceofconlponentsand platingparametersonplatingratewasalsodiscussedindetail．Theresultsrevealthattheplatingrateinereasesobvi— ouslywiththeincreaseoftheconcentrationsofferroussulfate，sodium borohydrideandboricacid，pH value，and temperature．Therelativemechanismwassuggested，whichisbeneficialtotheestablishmentofkineticequation． Keywords electrolessironplating，palladium ions，componentsandplatingparameters，platingrate 目前 ，持续增长的能源需求和环境保护的要求促进了对 发核聚变 【。黑腔是 ICF实验不可或缺的器件。 绿色新能源和可再生能源的开发，太阳能、风能、潮汐能、地 传统工艺是采用电镀或 电铸金等贵重金属或合金构建 热能等已经得到了广泛应用l】]。事实上只有太阳能、裂变 黑腔器件 ，然而在聚变和裂变反应中，铁是最稳定元素， 能和聚变能 3种能源