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3204 助 材 料 2013年第 21期(44)卷 文章编号 ：1001—9731(2013)21—3204—04 基于梳状分等级结构 ZnO纳米带的快速响应 VOC气体传感器 王广宁，高 红，陈婷婷，潘思明，崔嘉珊 ，孙鉴波 (哈尔滨师范大学 物理与电子工程学院，光电带隙材料省部共建教育部重点实验室 ，黑龙江 哈尔滨 150025) 摘 要 ： 通过化学气相沉积法 (CVD)合成 出梳状分 ZnO纳米带 ，并对这种材料进行 了气敏性能测试 ，测 等级结构的ZnO纳米带，使用场发射扫描 电子显微镜 试结果发现这种结构的材料对乙醇气体具有极快的响 (SEM)和 X射线衍射仪 (XRD)对材料组成和 结构进 应和恢复速度 ，目前这种结构的材料被用作气敏性能 行 了分析。利用这种材料制备 了厚膜 型管式气敏元 检测还鲜有报道。 件 ，并采用静 态配气测试 系统进行 了气敏 性能测试 。 2 实 验 测试结果表 明，工作温度大约为 225℃时，这种结构的 材料对有机挥发性气体 (volatileorganiccompounds， 2．1 材料制备 VOC)具有极快的响应和恢复速度 ，响应时间为 2s，恢 CVD法合成步骤如下：首先取 0．5gZnO粉末作 复时间为 3s。最后分析 了材料 结构对气敏性 能的影 为反应源，放置在陶瓷舟一端 (见图1)_2，并且在反应 响 。 源的下游依次摆放镀 了Au膜 的Si(100)片衬底 。将 关键词： 分等级结构 ；VOC；气敏传感器 ；ZnO纳米 陶瓷舟水平送入高温炉中，使反应源置于高温炉的中 带 ；响应及恢复时间 心位置 。反应过程 中，以N 作为载气 ，控制流速为 中图分类号 ： TB383 文献标识码 ：A 60mL／min。压 强 为 200Pa，反 应 室 的 温 度 升 至 DOI：10．3969／i．issn．1O01-9731．2013．21．034 1300。C，保持反应温度 1h。最后待反应温度 自然冷却 到室温，取出带有样品的 Si片。 1 引 言 近年来，由于有机挥发性气体 (VOc)对人们健康 造成直接或问接的危害，因此对 VOC气体 的检测已 引起人们高度重视 [1]，特别是对室内装潢产生的致癌 物 甲醛_3]、甲苯气体L4]，以及针对酒驾 中乙醇气体 ] 载气 抽真空 的快速精确检测 已变得尤为重要。 目前 ，对 VOc气 (氩气或氮气) 图1 水平管式炉示意 图 体的检测方法主要有光学法 、电化学法和电学法 ]。 Fig 1Schematicdiagram ofthehorizontaltube fur— 其 中光学法装置复杂、成本高 ；电化学法受环境因素限 naCe 制较多；而利用半导体材料制备 的气体传感器 因其成 2．2 器件制备 本低、工艺成熟、敏感特性和稳定性 良好等优点一直受 取一定量粉体材料 ，加 入 去离子水作 为溶 剂 到研究者们的重视 。 ( (粉体)：m (溶剂)≈1：2)，放入球磨机 中球磨 随着纳米技术 的发展 ，特殊结构的纳米材料在气