基于纳米CuO敏感电极混合位型NO_2传感器的研究.pdfVIP

锨 材 料 2013年第15期(44)卷 文章编号 ：1001—9731(2013)15-2138—05 基于纳米 CuO敏感电极混合位型NO2传感器的研究 王运飞，王 岭，朱 靖，戴 磊 ，李跃华，周会珠 ，吴印林 (河北联合大学 化学工程学院，河北 唐 山063009) 摘 要 ： 采用溅射法制备的纳米结构 CuO为敏感电 对 NO 具有较好 的敏感性 能。Plashnitsa等口 采用 极 ，钇稳定氧化锆 (YSZ)为固体 电解质制成 了一种混 溅射和热处理 的方法制备 了以NiO颗粒为敏感 电极 合位型NO。传感器 。采用 X射 线衍射仪 (XRD)和扫 的混合位型 NO 传感器 ，研究了不 同NiO敏感层厚 描 电子显微镜 (SEM)分别表征 了CuO敏感 电极的相 度和热处理温度对 NO 敏感性 的影 响，结果表 明 组成和微观形貌 。研究了Cu的不 同溅射时间对 CuO 60nm厚 的NiO敏感 电极经 1100。C热处理后对 NO 敏感 电极微观结构及传感器敏感性能的影响。结果表 表现出最好的敏感性 ，与具有较大颗粒 、厚膜型 (7z／m) 明，CuO颗粒随着 Cu溅射 时间的增长而增大，制成 的 的NiO敏感电极相比，传感器 的敏感性得到了很大提 传感器在 600～700℃范 围 内对 25～400mI／m 的 高。实际上 ，传感器 的敏感性和选择性在很大程度上 NO。具有较好 的敏感性能，传感器响应信号与 NO。 也依赖于敏感电极的微观形貌以及与电解质 的接触情 浓度的对数呈现 良好的线性 关系，其 中 60min，Cu传 况l6 。Liang等采用不同浓度的HF腐蚀 YSZ电解 感器在 650。C时灵敏度达 41．47mV／decade，对于 400 质，从而在很大程度上提高了传感器 的灵敏度 。这是 mL／m。的 NO。，90 的响应时 间和恢复 时间分 别约 因为电化学反应是在气体 ／电解质／敏感 电极 的三相界 为 160、260s，体积分数 0～10 的 CO 对传感器的响 面处发生 ，采用纳米结构的敏感 电极不仅可以增加三 应几乎没有影响，传感器具有较好的敏感度、重现性和 相界面的长度 ，还可 以提高对 NO 反应 的催化能力 ， 稳 定性 。 从而可以提高传感器 的敏感性口。]。CuO也是很好 的 关键词： 溅射法 ；混合位型 ；NO。传感器 ；CuO纳米 NO。敏感材料 ，已有基于 CuO利用丝网印刷技术制 颗粒 ：YSZ 备 NO 传感器 的报道[1 。本文采用溅射及热处理 中图分类号： TP212．2 文献标识码 ：A 的方法在 YSZ固体 电解质基板上制备 了纳米结构的 DOI：10．3969／i．issn．1001-9731．2O13．15．002 CuO敏感电极 ，并制成 了混合位型 NO 传感器 。研 究了敏感 电极 的厚度对传感器敏感性能的影响，并与 1 引 言 采用丝网印刷技术制备 的同样结构传感器 的性能进行 NO (NO、NO )是大气 中主要 的有害气体，严重 了比较 。 威胁着人类 的健康与生存 。大气 中的NO 主要来 自 2 实 验 于化石燃料的高温燃烧过程，如汽车尾气 、电厂烟道 气、烧结厂废气等 。因此 ，控制这些气体 的排放，实现 2．1 传感器的制备 废气或大气中NO 浓度 的连续监测具有非常重要 的 称取 0．8gYSZ(8 (摩 尔分数)YO。)粉末在 意义，迫切需要能够在高温下使用的高性能 NO 传感 15MPa