NanoMap 500LS 扫描三维表面轮廓仪.PDFVIP

NanoMap 500LS 扫描三维表面轮廓仪 特点 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可 以得到最优化的小区域三维测图。 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从 10μm X 10μm 到 500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别 光学参考平台能使长程扫描范围到 50mm。 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最 大至 500μm）及亚纳米级垂直分辨率 （最小０.１nm ） 软件设置恒定微力接触。 简单的 2 步关键操作，友好的软件操作界面。 应用 三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于 精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的 机加工零件。 薄膜和厚膜的台阶高度测量。 划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量。 空间分析和表面纹理表征。 平面度和曲率测量。 二维薄膜应力测量。 微电子表面分析和 MEMS表征。 表面质量和缺陷检测。 环境要求 湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝 温度：65-85 华氏度（△T＜1 度/小时） 电源要求：110/240V，50/60 Hz AEP Technology 上海办事处 技术规格 类型 项目 规格 小范围 XY 扫描头，提供高精确度 XY 平台扫描，提供大尺度测量 带亮场和暗场的全时彩色 CCD 照相机 综述 软件控制触针测量力，范围 0.5-100mg 2.5μm ，5 μm ，12.5 μm 和 25 μm ， 触针针尖半径选件 0.1-0.8μm 可选 台阶高度重现性 0.6nm 垂直分辨率 0.1nm 测量高度精细范围