k-alpha xps sample analysis report - 合肥工业大学分析测试中心.pdf

XPS实验技术和图谱分析基础 葛青亲博士 albert.ge@ 表面分析 应用工程师 赛默飞世尔科技(中国)有限公司 理论基础：需要掌握的要点 • 光电发射过程 ； •俄歇过程； • 固体材料中的元激发； • 电子弹性散射和非弹性散射； • 三阶段理论：激发、电子输运、表面跃迁至空态； • 电子能级和能带； • 化学（物理）位移、自旋轨道分裂、终态效应； • 峰强、峰位、峰宽所表示的信息； • 定性和定量分析基础； • …… 2 XPS错误分析 样品中含Fe Cr O C等元素 Survey spectrum 应为Fe2p1/2和2p3/2