第6章角度与角位移检测.pptVIP

角度及角位移测量 角度单位及量值传递 前已述及，在长度测量中有长度基准及其量值传递的问题。那么角度测量中是否也有角度基准与量值传递的问题呢？将被测角度与标准角度进行比较并确定被测角度的量值，这是角度测量。而标准角度则应事先用精度更高的角度标准检定过。这种逐级用高精度角度标准检定低精度角度标准的过程，就是角度量值的传递过程． 角度的自然基准和圆周封闭原则 1.自然基准：360o圆周角 2.圆周封闭原则：整圆周上所有角分度的误差之和为零（圆周内误差封闭的原理 ） 角度实物基准 随着科学技术的发展，对角度测量的精度要求越来越高，角度量块已不再能满足要求，而必须寻求精度更高的器件做角度实物标准。实际上，360的圆心角本身就是角度的一个自然基准。能够以最高的精确度将360o等分的圆分度器件就可以做为角度实物基准。各种精度的光学度盘、码盘、光栅盘、多面棱体与多齿分度盘等，在角度量值传递过程中均可做为角度实物标准。 实物基准 1.高精度度盘：在圆盘上的某一圆周上刻有一系列的等分刻线以实现圆周等分的器件称为度盘。度盘的角间隔一般为1o, 30’, 20’, 10’, 5’和4‘几种。用于角度及圆分度误差的静态测量。 2.圆光栅：光栅盘的分辨力多为10??,20??,可用于静态测量和动态测量。 3.圆感应同步器：激磁绕组（固定盘）和感应绕组（动盘）。 4.角编码器：把角位置定义为数字代码的装置称作角编码器。节距角有2o、1o、40’。 5.多面棱体：高精度标准器。常见多面棱体的面数为4、6、8、12、24、36、72等。分度精度可达?0.5?～?1 ?。 6.多齿分度盘 单一角度尺寸的测量 直接测量 1.测角仪 2.工具显微镜 3.自准直仪 (相对测量） 4.激光干涉小角度测量仪（相对测量） 间接测量 坐标测量 平台测量 将被测角度与标准角度相比较而直接确定其实际角度或偏差的方法，是角度的直接测量法。凡带有圆周角度刻度盘及其细分读数装置的量仪均可用做角度的直接测量。 与长度绝对测量相似，用于角度绝对测量的仪器一般带有一个360o圆周分度装置，如光学分度盘、圆光栅等，且带有自己的细分读数装置．因此可直接测得0o~360o间的任意角度值。这些仪器大多采用自准直光管瞄准，也有少数仪器采用影象法瞄准或采用接触式瞄难。 下面以两种常用的仪器为例。 测角仪 测角仪是角度计量工作中使用较广的一种测量仪器，它主要用以测量如测量角度量块、多面棱体、棱镜的角度、楔形镜（光楔）的楔角及平板玻璃两平面的平行度等。用测角仪测量的工件一般用平行于被测角平面的端平面定位，且要求构成被测角的被瞄准平面具有较高的反射率。 1．用标准圆柱测量内燕尾槽的斜角 测量内燕尾相的斜角可用两对不等直径的标准圆柱测量，也可用一对相等直径的标准圆柱测量。 用两对不等直径圆柱测量时，将半径为r1和r2的圆柱先后塞进燕尾槽内，并紧靠燕尾槽两内斜面，用量块组试塞的方法确定或用测孔径量具测定圆柱间的间距M1和M2，内燕尾槽的斜角。可由下式确定 用一对等径圆柱测量时，先测出M1，再在两圆柱下垫上尺寸为a的量块，测出M2，则内燕尾槽的斜角?为： 2．用正弦规测量角（锥）度 正弦规的结构如图3－18所示。正弦现的上表面为工作面，在正弦规主体1下方固定有两个直径相等且互相平行的圆柱体2，它们下母线的公切面与上工作面平行。在主体侧面和前面分别装有可供被测件定位用的侧挡板4和前挡板3，它们分别垂直和平行于两圆柱的轴心线． 正弦规按正弦原理工作，即在平板工作面与正弦规一侧的圆柱之间安放一组尺寸为H的量块，使正弦规工作面相对于平板工作面的倾斜角度?0等于被测角(锥)度的公称值，(如图所示)。量块尺寸H由下式决定 将被测件安放在正弦规工作面上，用正弦规前挡板或侧挡板正确定位，使被测角位于与正弦规圆柱轴线垂直的平面内。若被测角的实际值。与公称值一致， 则角度块表面或圆锥的上素线与平板工作面平行；若被测角有偏差即 则在平台上移动测微计，可测得被测角上边线两端的高度差。设两个测量位置的间距为l(mm)，测微计在两个位置的读数值分别为n1、n2(um)，则被测角偏差为 环形激光器的基本结构如图所示，其由等边三角形（或四边形等）的光学谐振腔1和位于腔管内的氦一氖气体放电管4组成。谐振腔由腔管和反射镜组成闭合回路，反射镜2、3是全反镜，反射镜5允许少量光线透射。气体放电管的两端都发出激光，一束顺时针方向传播，另一束逆时针方向传播，棱镜6将两束光中透过反射镜5的部分合成一束，射向接收器。接收器由光电转换元件和频率检测装置组成。 环形激光器测量法 * * * * 多齿分度盘的构造与齿轮端面离合器相似，由两个直径、齿数和齿形都相同的上、下端面齿盘组成