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32 工具技术 负载率对多层复合化学涂层工艺稳定性影响的研究 薛峰，吴春涛，周应涛，彭前飞 成都工具研究所有限公司 摘要：从改变负载率人手，借助球痕仪、扫描电子显微镜、x射线衍射仪、EDX等先进检测设备，研究多层复合 化学涂层工艺的稳定性问题：结果表明，负载率不可能超过50％，大多看似不同的装载量，单层负载率较高，其实 总负载率约为10％一20％，对涂层工艺的稳定性影响较小，产品性能总体稳定，总负载率大于20％以上的稳定性 情况还有待进一步验证： 关键词：负载率；多层复合；稳定性 中图分类号：TGl74．4；THl40．7 文献标志码：A onEffectof Rateon of Chemical Study Loading StabilityMultilayerCompositeCoating Xue Chu